DH 시리즈 고온용 다이어프램 밸브는 원자층 증착(ALD) 및 프리커서 공급 애플리케이션 등 고온, 고순도 환경에서 밸브 전체를 완전히 가두는 사용 환경에 맞게 설계되었습니다. 이 밸브의 완전히 갇힌 고순도 등급 PFA 시트는 광범위한 화학적 호환성과 부풀림(Swelling) 및 오염에 대한 탁월한 저항성을 제공합니다. 몸체 내 완전 쓸림 유로는 정체 영역을 최소화하고 유량을 극대화합니다.
광범위한 시스템 요구에 부합하는 최대 유량계수 0.60, 1/4인치 및 3/8인치의 다양한 연결구, 밸브 열림 또는 닫힘 시간이 5ms 미만인 평상시 닫힘 개폐기가 있는— —공압식 개폐와 수동 개폐 모델로 공급이 가능합니다. 밸브는 220°C(428°F)에서 최적의 성능을 발휘하도록 설계되었습니다.
사양
| 사용 압력 | 진공에서 70psig(4.8bar)까지 |
| 파열 압력 | > 3200psig(220bar) |
| 작동 압력 | 60~90psig(4.1~6.2bar) |
| 온도 | 20°~220°C(70°~428°F) |
| 유량 계수 | |
| "H" 타입 VCR® 연결구 | 20°C(70°F)에서 0.60 220°C(428°F)에서 0.40 |
| VCR 및 기타 모든 연결구 | 20°C(70°F)에서 0.30 220°C(428°F)에서 0.21 |
| 블럭 조립식(MSM) 몸체 | 20°C(70°F)에서 0.25 220°C(428°F)에서 0.21 |
| 몸체 재질 | 316L VIM-VAR 스테인리스강 |
| 다이어프램 재질 | 코발트 합금 |
| 연결구 | |
| 종류 | VCR 및 "H" 타입 VCR 메탈 가스켓 면 밀폐 피팅, 튜브 맞대기 용접; 모듈 조립식(MSM) |
| 크기 | 1/4인치 및 3/8인치 1.125인치 및 1.5인치 모듈 블럭 조립식 |
DH 시리즈 고온용 다이어프램 밸브 카탈로그
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Swagelok thermal-immersion diaphragm valves offer high-speed actuation and are designed for optimum performance at 220 degrees C (428 degrees F) for high-temperature processes.
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