用于原子层沉积工艺的世伟洛克^®超高纯隔膜阀（ALD3 和 ALD6 系列）

世伟洛克 ALD3 和 ALD6 系列隔膜阀用于半导体制造设备，以实现原子层沉积 (ALD) 处理所需的可控计量。它们具有超高循环寿命、快速驱动和高达 0.62 的流量系数。

초고순도 Swagelok^® ALD3 및 Swagelok^® ALD6 다이어프램 밸브는 반도체 제조업체에 증착 챔버에서 적층(LBL, layer by layer)으로 마이크로칩을 만드는 데 사용되는 프리커서 가스의 신뢰성 높은 고속 투입 기능을 제공하도록 설계되었습니다. 이 고성능 초고순도 밸브는 극도로 높은 사이클 수명, 고온에서 완전 봉입 기능, 초고순도 애플리케이션 적합성이 특징입니다.

ALD3 및 ALD6 밸브에 사용되는 다이어프램은 뛰어난 강도와 내식성을 제공하는 코발트 초합금 재질로 구성되어 있습니다. 또한, 밸브 몸체는 316L VIM-VAR 스테인리스강이므로, 초고순도 애플리케이션에 적합합니다. 밸브 시트는 불화(Fluorinated) 고순도 PFA로 제조되므로 광범위한 화학적 호환성, 스웰링과 오염에 대한 내성을 제공합니다. 이 밸브는 평상시 닫힘 및 평상시 열림 공압 작동 방식으로 설정할 수 있으며, 서로 다른 설치 조건에 적합하도록 다양한 구성으로 공급 가능합니다.

ALD 밸브가 반도체 제조 환경을 어떻게 개선하는지 알아보십시오

ALD3 및 ALD6 밸브 사양

사용 압력	진공~145 psig(10.0 bar)
파열 압력	>3200 psig(220 bar)
작동 압력	50~90 psig(3.5~6.2 bar)
온도	0°~200°C(32°~392°F)
유량 계수(C_v)	0.27 또는 0.62
몸체 재질	316L VIM-VAR 스테인리스강
다이어프램 재질	코발트 초합금
연결구	종류(크기): 암나사 VCR^® 면 밀폐 피팅(1/4인치 대 1/2인치), 수나사 VCR 면 밀폐 피팅(1/4인치 대 1/2인치), 모듈 조립형 대유량 C-씰(1.125인치 대 1.5인치)

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ALD3 및 ALD6 시리즈 밸브 카탈로그

구성 재질, 압력 및 온도 등급, 옵션, 액세서리를 포함한 자세한 제품 정보를 찾을 수 있습니다.

Ultrahigh-Purity Valves for Atomic Layer Processing, ALD, Diaphragm and Bellows Valves

ALD 3, 6, and 7 Diaphragm Valves and ALD20 Bellows: Ultrahigh cycle life, high-speed actuation; Up to 392°F (200°C) w thermal actuators; Electronic actuator position-sensing; ultrahigh-purity applications; High flow capacity, PFA seat, Normally closed pneumatic actuation, Alloy 22 available

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