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ダイヤフラム・バルブ

Swagelok®ダイヤフラム・バルブ

ダイヤフラム・バルブは、流路から障害物を一掃したデザインでたまり部を最小限に抑え、パージを促進することで、システム効率を向上させると共に、効率的に流れを締め切ります。さまざまなサイズや材質はもちろん、原子層蒸着(ALD)用、サーマル・イマージョン、スプリングレス・タイプなど、各種形状を選ぶことができ、高純度用途および超高純度用途でのシステム要件に適合します。

View Diaphragm Valves

Swagelok diaphragm-sealed valves come in various sizes, materials, and configurations to meet the needs of high-purity and UHP applications. They feature flow coefficients ranging from 0.20 to 13. Their fully swept flow paths and corrosion-resistant construction make them ideal for applications where cleanliness is crucial. Users can choose from manual, pneumatic, and locking actuator options.

Swagelok diaphragm-sealed valves can be used in atomic layer deposition (ALD), high-flow, modular gas system, thermal-immersion, and ultrahigh-purity applications requiring fluoropolymer component construction.

  • Swagelok springless diaphragm valves for modular gas systems are easy to install, provide a visual indication of flow direction, and have a seat design that improves thermal stability
  • Swagelok bulk gas diaphragm valves offer a combination of strength, flexibility, and cycle life to support a wide range of ultrahigh-purity shutoff, bulk-gas distribution, and isolation applications
  • Swagelok thermal-immersion diaphragm valves can be entirely contained within a high-temperature, high-purity environment, making them strong options for ALD and precursor delivery applications
  • Swagelok ultrahigh-purity fluoropolymer diaphragm valves offer a strong solution for UHP chemical distribution, DI water, and bulk chemical delivery systems

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ダイヤフラム・バルブのカタログ

構成部品とその材質、使用圧力、使用温度、オプション、アクセサリーなど、製品に関する詳細情報を確認することができます。

Swagelok flow coefficient (C<sub>v</sub>) calculator for valves

Calculate Flow Rate for the Right Valve Selection

Use our valve flow coefficient (Cv) calculator to chose a valve sized correctly for your needs.

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Swagelokダイヤフラム・バルブは、さまざまなサイズ、材質、形状が揃っており、高純度用途/超高純度(UHP)用途でのニーズを満たします。流量係数(Cv値)は0.20~13で、最高使用圧力は24.1 MPaです。

ダイヤフラム・バルブは、システムの流れを効果的に締め切り、長期にわたるサイクル・ライフを実現します。スウェージロックは、原子層蒸着(ALD)用バルブ、大流量用スプリングレス・バルブ、高性能バルブ、集積化ガス・システム、サーマル・イマージョン・バルブ、超高純度用フルオロポリマー・バルブなどのダイヤフラム・バルブを取り揃えています。アクチュエーター・タイプは、手動式や空気作動式、ロッキング・ハンドルなどから選ぶことができます。

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