Swagelok® Diaphragm-Sealed Valves
Swagelok diaphragm-sealed valves improve system efficiency while providing effective flow shutoff by minimizing entrapment areas and facilitating purging with a fully swept flow path. They have long cycle lives and are available in a variety of sizes, materials, and configurations to meet the system requirements of high-purity and ultrahigh-purity (UHP) applications.
View Diaphragm ValvesSwagelok diaphragm-sealed valves come in various sizes, materials, and configurations to meet the needs of high-purity and UHP applications. They feature flow coefficients ranging from 0.20 to 13. Their fully swept flow paths and corrosion-resistant construction make them ideal for applications where cleanliness is crucial. Users can choose from manual, pneumatic, and locking actuator options.
Swagelok diaphragm-sealed valves can be used in atomic layer deposition (ALD), high-flow, modular gas system, thermal-immersion, and ultrahigh-purity applications requiring fluoropolymer component construction.
- Swagelok springless diaphragm valves for modular gas systems are easy to install, provide a visual indication of flow direction, and have a seat design that improves thermal stability
- Swagelok bulk gas diaphragm valves offer a combination of strength, flexibility, and cycle life to support a wide range of ultrahigh-purity shutoff, bulk-gas distribution, and isolation applications
- Swagelok thermal-immersion diaphragm valves can be entirely contained within a high-temperature, high-purity environment, making them strong options for ALD and precursor delivery applications
- Swagelok ultrahigh-purity fluoropolymer diaphragm valves offer a strong solution for UHP chemical distribution, DI water, and bulk chemical delivery systems
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카테고리
UHP 개폐용 다이어프램 밸브, DP 시리즈
직선형 패턴 및 수동 작동, 통합형 액추에이터가 있는 멀티포트 및 모듈 조립형(MSM)의 초고순도 차단 다이어프램 밸브를 알아보십시오.
UHP 대유량 다이어프램 밸브, DF 시리즈
스프링 없는 대유량 다이어프램 밸브로 사이클 수명을 늘려보십시오. 스프링이나 나사가 없으므로 청정도가 개선되며, 유체가 잔류하지 않는 매끄러운 유로로 퍼지 성능이 강화됩니다.
UHP 플루오르수지 다이어프램 밸브, DRP 시리즈
유체가 잔류하지 않는 매끄러운 유로로 응력과 유체 오염을 최소화하여 UHP 케미컬 시스템에서 최적의 성능과 긴 수명을 보장할 수 있습니다.
고순도 고압 다이어프램 밸브, DL 및 DS 시리즈
완전 밀폐 소프트시트 스템 팁, 표준 하단, 판넬 마운팅으로 반복적 차단이 가능한 고순도, 고압 다이어프램 밸브를 알아보십시오.
고온(Thermal-Immersion) 다이어프램 밸브, DH 시리즈
고온 봉입(Thermal-immersion) 다이어프램 밸브는 원자층 증착(ALD) 및 프리커서 공급 애플리케이션과 같은 고온 프로세스에 사용됩니다.
모듈형 가스 시스템용 스프링 없는 다이어프램 밸브, 1.125인치, DE 시리즈
스프링 없는 구조의 신뢰성 높고 강화된 제어 밸브는 모듈형 가스 시스템에서 효율적으로 작동하는 데 적합합니다.
벌크 가스 다이어프램 밸브, LD 시리즈
대유량 애플리케이션 벌크 가스 분배 다이어프램은 초고순도 차단, 벌크 가스 분배, 차단 애플리케이션 요구 조건을 충족하도록 설계되었습니다.
Diaphragm-Sealed Valves Catalogs
Locate detailed product information, including materials of construction, pressure and temperature ratings, options, and accessories.
Features: 1.125 in. C-seal and W-seal designs; Available in two- and three-port configurations; Compact pneumatic and manual actuators; Pneumatic actuator indicator ball: red for normally closed, green for normally open; Fixed orientation of actuator to body for consistency of installation; Corner chamfers on outlet side of body for visual indication of flow direction
Swagelok thermal-immersion diaphragm valves offer high-speed actuation and are designed for optimum performance at 220 degrees C (428 degrees F) for high-temperature processes.
DRP 시리즈 공기작동식 및 1/4 회전 수동식 2-방향 및 3-방향 모델; 공기 작동식 및 유량 조절과 바이패스가 가능한 수동식 모델 유체가 접촉되는 부위는 DuPont® Teflon® 개선된 PTFE 및 폴리프로필렌 개폐기 초고순도 시스템 부품에 적용되는 SEMI 표준 F57-0301 준수 확관형 및 Nippon Pillar® Super 300 연결구가 기본형; Flowell, space saver 및 기타 연결구 제공 가능 주문자 요청에 의한 매니폴드 및 부분 조립품 제공 가능
DL 및 DS 시리즈 패킹이 없는 금속 밀폐구조 용 압력 범위: 진공 ~ 3500 psig (241 bar) 온도 범위: –73 ~ 121°C (–100 ~ 250°F)
DP 시리즈 초고순도 사양에 적합 316L VIM-VAR 스텐레스강 몸체 저압용 및 고압용 모델 VCR®, 튜브 맞대기 용점 및 블럭 조립식 연결구 수동식 또는 공기작동식 개폐기
LD 시리즈 최대 사용 압력 300 psig (20.6 bar) 일반 차단 기능, 벌크 가스 분배 및 차단 서비스 주조, 단조 및 바 스톡 스텐레스강 몸체 재질 1/4 ~ 1 in. 및 12 ~ 25 mm 연결구
DF 시리즈 316L VAR 스텐레스강 몸체; 최대 사용 압력: 300 psig (20.6 bar); 1/4, 3/8 및 1/2 in. 그리고 10 및 12 mm 연결구
Calculate Flow Rate for the Right Valve Selection
Use our valve flow coefficient (Cv) calculator to chose a valve sized correctly for your needs.
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How to Select the Right Valves for Your Industrial Fluid System
Learn how to apply the practical STAMPED method to select the valves most suited to your industrial fluid or sampling system design applications.
Minimize the Costs of Fugitive Emissions with Low-E Valves
Fugitive emissions are a growing concern in the chemical and petroleum refining industry. Certified low-emissions (Low-E) valves can protect your facility and bottom line. Learn what they are, how they are tested, and how they can help you in this post.
How to Isolate Industrial Fluid Systems with Block Valves
The isolation of industrial fluid system lines prior to maintenance is vital to plant safety. One of the safest ways to isolate a fluid system line is to install two block valves. Learn how to design proper configurations for your system.
One New Valve. Three Reasons It Could Change Semiconductor Manufacturing
Find out how the latest innovation in atomic layer deposition (ALD) valve technology is changing the game for high-tech semiconductor manufacturers.
