Swagelok®ダイヤフラム・バルブ
Swagelokダイヤフラム・バルブを使用すると、効率的に流れを締め切りながら、システム効率を向上させることができます。流路から障害物を一掃したデザインを採用しているため、たまり部分を最小限に抑えると同時にパージを促進することができます。長いサイクル・ライフを実現すると共に、さまざまなサイズ、材質、形状を選ぶことができるため、高純度および超高純度（UHP）アプリケーションのシステム要件に適合します。
ダイヤフラム・バルブを見るSwagelokダイヤフラム・バルブは、さまざまなサイズ、材質、形状を選ぶことができるため、高純度および超高純度（UHP）アプリケーションのニーズに適合します。流量係数（Cv値）は0.20～13です。流路から障害物を一掃したデザインおよび耐食性に優れた構造を採用しているため、清浄度が重要なアプリケーションに適しています。アクチュエーターは手動式、空気式、ロッキング・ハンドルから選ぶことができます。
ダイヤフラム・バルブは、原子層蒸着（ALD）用、大流量用、集積化ガス・システム用、サーマル・イマージョン用やフルオロポリマー製があり、超高純度のさまざまなアプリケーションに適しています。
- Swagelokスプリングレス・ダイヤフラム・バルブ（ 集積化ガス・システム 用）は取り付けが容易で、流れの方向を一目で確認することができます。熱安定性を向上させるシート設計を採用しています。
- Swagelokダイヤフラム・バルブ（バルク・ガス供給用）は、優れた強度および柔軟性、長いサイクル・ライフを兼ね備えており、超高純度締め切り用、バルク・ガス供給用、アイソレーション用など、さまざまなアプリケーションに対応することができます。
- Swagelokサーマル・イマージョン・ダイヤフラム・バルブは、高温／高純度環境において完全に封止することができるため、原子層蒸着（ALD） やプリカーサー供給アプリケーションに適しています。
- Swagelok超高純度用フルオロポリマー・ダイヤフラム・バルブは、超高純度の薬液供給システム、超純水システム、薬液のバルク供給システムに対して強力なソリューションを提供します。
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ダイヤフラム・バルブのカテゴリー
Беспружинные мембранные клапаны для модульных газовых систем, 1,125 дюйма, серия DE
Надежные и современные регулирующие клапаны с беспружинной конструкцией идеально подходят для эффективной работы в модульных газовых системах.
Высокотемпературные погружные мембранные клапаны, серия DH
Для применения в высокотемпературной среде, например в системах с атомно-слоевым осаждением (ALD) и системах доставки прекурсоров используются высокотемпературные погружные мембранные клапаны.
Мембранные клапаны для большого объема газа, серия LD
Предлагаются мембраны для распределения и отсечения газов в больших объемах и с высоким расходом в системах сверхвысокой степени чистоты.
Мембранные клапаны сверхвысокой степени чистоты и высокого давления, серия DPH
Мембранные клапаны сверхвысокой степени чистоты и высокого давления выпускаются в различных размерах, материалах и конфигурациях для широкого применения.
Фторполимерные мембранные клапаны сверхвысокой степени чистоты, серия DRP
Обеспечьте оптимальную производительность и долговечность сверхчистых (UHP) химических систем за счет беспрепятственного пути прохождения потока, чтобы свести к минимуму загрязнение флюидов.
スペアー・パーツ／アクセサリー
ダイヤフラム・バルブのメンテナンスを行う際の交換用部品／アクセサリー（ダイヤフラム・キット、シール・キット、ステム・キット、アクチュエーター交換キットなど）を幅広く取り揃えています。
超高純度用大流量ダイヤフラム・バルブ、DFシリーズ
Увеличьте циклический срок службы с помощью беспружинных мембранных клапанов для интенсивного расхода. Отсутствие пружин и резьбы повышает необходимую чистоту, а беспрепятственная проточная часть улучшает качество продувки.
超高純度用締め切り型ダイヤフラム・バルブ、DPシリーズ
超高純度用締め切り型ダイヤフラム・バルブには、ストレート型（手動式アクチュエーター付き）、マルチポート、集積型（MSM）（一体型アクチュエーター付き）があります。
高純度／高圧用ダイヤフラム･バルブ、DL／DSシリーズ
高純度／高圧用ダイヤフラム・バルブは、ステムの先端がソフト・シート（プラスチック製）の変形を最小限に抑えるよう設計されており、繰り返し締め切ることが可能です。底部取り付けまたはパネル取り付けを選ぶことができます。
ダイヤフラム・バルブのカタログ
構成部品とその材質、使用圧力、使用温度、オプション、アクセサリーなど、製品に関する詳細情報につきましては、以下の資料をご参照ください。
Features: 1.125 in. C-seal and W-seal designs; Available in two- and three-port configurations; Compact pneumatic and manual actuators; Pneumatic actuator indicator ball: red for normally closed, green for normally open; Fixed orientation of actuator to body for consistency of installation; Corner chamfers on outlet side of body for visual indication of flow direction
Swagelok thermal-immersion diaphragm valves offer high-speed actuation and are designed for optimum performance at 220 degrees C (428 degrees F) for high-temperature processes.
Features: Pneumatic and quarter-turn manual 2-way and 3-way models; pneumatic and manual models with adjustable flow and bypass features; DuPont® Teflon® modified PTFE wetted parts and polypropylene actuator; Meet SEMI Standard F57-0301 for ultrahigh-purity system components; Fine thread flare and Nippon Pillar® Super 300 end connections standard; space saver and other end connections available; Custom manifolds and subassemblies available
Бессальниковая цельнометаллическая герметизация; Рабочее давление от вакуума до 241 бара (3500 фунтов на кв. дюйм, ман.); Температура от -73 до 121°C (от -100 до 250°F)
Применимы в сверхчистых системах; Корпус из нержавеющей стали 316L VIM-VAR; Модели низкого и высокого давления; Соединения VCR®, соединения под приварку встык и модульные торцевые соединения для монтажа на поверхности; Ручные и пневматические приводы
Характеристики: Рабочее давление до 300 фунтов на кв. дюйм, ман. (20,6 бара); отсечение, распределение больших объемов газа и изолирование; литые, кованные корпуса из нержавеющей стали, а также корпуса из прутковых заготовок; торцевые соединения от 1/4 до 1 дюйма и от 12 до 25 мм
Характеристики: Корпус из нержавеющей стали 316L VAR; рабочее давление до 300 фунтов на кв. дюйм, ман. (20,6 бара); торцевые соединения размером 1/4, 3/8 и 1/2 дюйма; 10 и 12 мм
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