Swagelok^® 반조체 제조용 열 루프(Thermal Loop) 관리 프로그램

Swagelok 열 루프(thermal loop) 관리 프로그램은 반도체 제조업체가 시스템을 누설 없고 적절한 단열 상태로 운영하여 칩 수율을 극대화할 수 있도록 개발되었습니다.

半導体ウェハ製造サーマル・ループ・システム

半導体ウェハ製造において最適な歩留まりを達成するには、チラーや熱交換器の効率的なオペレーションが求められます。それには信頼性の高いチラー・ホースをはじめとする漏れの無い部品が欠かせません。このような部品を適切に取り付け、レイアウトし、断熱することで、プロセスの一貫性、再現性、クレンリネス（清浄度）を維持しつつ、結露などの問題が生じないオペレーション環境を実現することができます。

そこでスウェージロックは、結露の防止およびオペレーション・コストの削減を目的として、サーマル・ループ管理プログラムを開発しました。本プログラムでは、半導体ウェハ製造プロセスの要件に関して数十年にわたり培ってきた経験や技術的な専門知識を活かし、半導体オペレーションの生産性を最大限に高めるためのリソースを包括的に提供しています。

サーマル・ループ管理プログラムの利点

プロセス中断の原因となる結露を防止することで、ダウンタイム（停止時間）を短縮
プロセス・ループ全体で効率的に流体を移送し、温度の変動を最小限に抑えることで、半導体デバイスの歩留まり向上を実現

チラーのパフォーマンス向上により、効率アップおよびエネルギー・コスト削減を実現
ベンダーを統一してプロセスの合理化を図ることで、設備投資およびオペレーション・コストを削減

世界各地のスウェージロック指定販売会社には、数百名ものフィールド・エンジニアが在籍しています。半導体ウェハ製造におけるサーマル・ループのパフォーマンスの最適化に必要なサポートをご希望なら、お気軽にお問い合わせください。スウェージロックのフィールド・エンジニアは、専門的なガイダンス、現地サポート、プレハブ式のシステム・アセンブリー（Swagelokリミティッド・ライフタイム保証付き）など、半導体製造のニーズに対応する包括的なソリューションを提供します。

スウェージロックのサーマル・ループ管理プログラムの詳細や、プログラムを活用する利点につきましては、最寄りのスウェージロック指定販売会社までお問い合わせください。

専門スタッフに相談する