text.skipToContent text.skipToNavigation
Клапаны для атомно-слоевого осаждения (ALD)

Клапаны Swagelok® для атомно-слоевого осаждения (ALD)

Клапаны Swagelok сверхвысокой чистоты для атомно-слоевого осаждения (ALD) обеспечивают сверхвысокий циклический срок службы, высокую скорость срабатывания, уровни расхода, термопогружение и исключительную чистоту, необходимые для прецизионного дозирования и максимального увеличения выхода годных кристаллов в современном полупроводниковом производстве.

Запросить информацию о клапанах ALD

Познакомив мир с клапанами ALD, мы продолжаем тесно сотрудничать с изготовителями полупроводников с целью дальнейшей модернизации своих устройств, которые обеспечат высочайшие уровни точности, единообразия, чистоты и длительный срок службы, необходимые для соответствия стремительным темпам внедрения инноваций в отрасли. ALD-клапаны Swagelok® повышают эффективность производства микросхем и устраняют трудности, которые часто связаны с процессами атомно-слоевого осаждения.

Наши клапаны сверхвысокой степени чистоты для атомно-слоевого осаждения (ALD) обеспечивают:

  • Сверхвысокий циклический срок службы с высокой скоростью срабатывания
  • Cv в диапазоне от 0,27 до 1,7
  • Указанные модели обеспечивают устойчивую работу вплоть до 200°С (392°F)
  • Вариант исполнения с электронным или оптическим датчиком положения привода
  • Применение в условиях сверхвысокой чистоты
  • Модульное торцевое соединение для монтажа на поверхность, торцевые соединения под приварку встык и VCR®

Каким образом клапаны ALD решают сложные проблемы

原子层沉积 (ALD) 阀类别

超高纯度隔膜阀,ALD3 和 ALD6 系列

超高纯度隔膜阀,ALD3 和 ALD6 系列

ALD3 和 ALD6 隔膜阀在原子层沉积应用中具备强大的性能,可实现高速执行下的超高循环寿命。
超高纯度隔膜阀,ALD7 系列

超高纯度隔膜阀,ALD7 系列

世伟洛克® ALD7 超高纯隔膜阀提供了在半导体制造应用中尽可能地提高芯片成品率所需的精度和一致性。

高流量应用型超高纯度阀,ALD20 系列

高流量应用型超高纯度阀,ALD20 系列

使用 ALD20 超高纯阀门推进原子层沉积技术,其流速是其他 ALD 阀门的 2-3 倍。

Каталоги клапанов для атомно-слоевого осаждения (ALD)

Получите подробные сведения о продукции, в том числе о материалах изготовления, номинальных параметрах давления и температуры, вариантах исполнения и вспомогательных принадлежностях.

Сборка клапана Swagelok ALD20 UHP в чистом помещении для применения в полупроводниковой отрасли

Один новый клапан и три причины, которые позволят ему изменить производство полупроводников

Узнайте, как новейшие достижения в технологии ALD (атомно-слоевое осаждение) меняют ситуацию на рынке высокотехнологичного производства полупроводников.

Узнайте больше о периодической таблице

Ресурсы Swagelok специально для вас

Компоненты жидкостных и газовых систем Swagelok изготавливаются из материалов, предназначенных для длительной эффективной работы в условиях производства полупроводников.
Повышение выхода годных полупроводниковых изделий благодаря применению усовершенствованных сплавов

Узнайте, как производители полупроводников могут повысить выход годных изделий на каждом этапе производственного процесса, а также рентабельность в долгосрочной перспективе за счет правильного подбора металлов для важнейших компонентов жидкостных и газовых систем.

Carl White, que ha pasado casi 40 años trabajando en varios puntos de la cadena de suministro de la industria del semiconductor, ofrece una perspectiva de primera mano sobre el pasado, el presente y el futuro del avance de esta industria.
P&R: Pasado, Presente y Futuro de la Fabricación de Semiconductores

Vea cómo la colaboración entre los fabricantes de herramientas, los fabricantes de microchips y los proveedores de soluciones para sistemas de fluidos ha permitido que el mercado del semiconductor se mantenga a la altura de las exigencias de la Ley de Moore durante décadas, y hacia dónde nos dirigimos a partir de aquí.

Rosendahl Nextrom y Swagelok colaboran para maximizar la eficiencia operativa
Un Fabricante de Equipos de Fibra Óptica Aumenta la Eficiencia con Soluciones Personalizadas

Desde la década de los 80, Rosendahl Nextrom ha confiado en Swagelok para impulsar su negocio. Más información sobre las soluciones que permitieron a la empresa superar a sus competidores y seguir siendo un líder de la industria.

El fabricante de refrigeradores de dilución Bluefors confía en Swagelok para los componentes y soluciones de sistemas de fluidos.
Soluciones Fiables de Sistemas de Fluidos para la Frontera Científica

Vea por qué el fabricante finlandés de refrigeradores de dilución Bluefors, confía en Swagelok para los componentes y soluciones de sistemas de fluidos que ayudan a hacer posible, entre otras, la informática cuántica o la física experimental.

Этот процесс может занять несколько минут. Дождитесь его завершения и не покидайте страницу.