Мембранные клапаны Swagelok® сверхвысокой степени чистоты для атомно-слоевого осаждения (серия ALD7)
Клапаны Swagelok серии ALD7 сверхвысокой степени чистоты обеспечивают стабильный расход и пропускную способность, быструю отработку, температурные параметры и уровень чистоты, помогающие увеличить выпуск чипов при использовании новых или имеющихся инструментов для производства полупроводников.
Запросить информацию о клапанах ALD7Мембранный клапан Swagelok® серии ALD7 для атомно-слоевого осаждения (ALD) дает возможность производителям полупроводников и изготовителям микросхем увеличить выход годной продукции, повысить рентабельность, обеспечить постоянство рабочего процесса при высоких температурах, что необходимо для преодоления ряда технических ограничений. Клапаны обеспечивают стабильность характеристик всех клапанов, во всех камерах и в дозировании в течение сверхвысокого циклического срока службы.
Клапан ALD7 от Swagelok:
- Обеспечивает быстрое и точное дозирование в течение миллионов циклов для самых строгих требований, и отличается усовершенствованной технологией со временем отклика всего 5 мс
- Устойчив к воздействию агрессивных газов благодаря корпусу из запатентованной сверхчистой нержавеющей стали Swagelok 316L VIM-VAR
- Возможность нагрева до 200°C при сохранении максимальной рабочей температуры пневматического привода ниже 150°C
- Обеспечивает коэффициент расхода (Cv) до 0,7 (доступны версии с индивидуальной заводской настройкой, обеспечивающие коэффициент расхода 0,5–0,7 Cv)
- Размеры аналогичны стандартным ALD-клапанам Swagelok, при этом оснащен встроенным термоизолятором для максимального использования ограниченного пространства возле реакционной камеры
Клапаны ALD7, увеличенное изображение
Технические характеристики клапана ALD7
| Рабочее давление | От вакуума до 145 psig (10,0 бар ман) |
| Давление разрыва | > 3200 psig (220 бар ман) |
| Давление срабатывания | От 60 до 120 psig (от 4,1 до 8,27 бар ман) |
| Номинальная температура | Стандартный корпус клапана: от 32°F (0°C) до 392°F (200°C) |
| Коэффициент расхода | Стандартный коэффициент расхода 0,7 Cv (устанавливается в заводских условиях) |
| Материалы корпуса | Нерж. сталь 316L VIM-VAR |
| Материал мембраны | Специальный сплав на основе кобальта |
| Торцевые соединения | Тип: Фитинги VCR®, соединение под приварку встык, C-образное модульное уплотнение размером 1,5 дюйма с высоким расходом для монтажа на поверхность |
Есть вопросы о клапанах ALD?
Каталоги клапанов серии ALD7
Получите подробные сведения о продукции, в том числе о материалах изготовления, номинальных параметрах давления и температуры, вариантах исполнения и вспомогательных принадлежностях.
原子层沉积 (ALD) 隔膜阀，高速执行下的超高循环寿命 ，Cv 0.27 到 0.62，耐热执行器, 耐温高达 200°C（392°F），电子执行器位置传感选购件，合采用 316L VIM-VAR 不锈钢阀体的超高纯应用场合，VCR®, 卡套管对焊和模块化表面安装端接
世伟洛克为您精心准备的产品、服务和解决方案
利用优化的合金提高半导体制造良率
了解半导体制造商如何通过为关键流体系统组件选择合适的金属材料，提高端到端制造良率并提高长期盈利能力。
问答：半导体制造的过去、现在与未来
了解半导体OEM设备商、微芯片制造商与流体系统解决方案提供商之间的协作如何使半导体市场在数十年来能够满足摩尔定律的要求以及未来的发展方向。
光纤设备制造商利用定制解决方案提高效率
自 20 世纪 80 年代以来，Rosendahl Nextrom 便与世伟洛克合作推动其业务的发展。了解有关使该公司超越其竞争对手并保持行业领先地位的解决方案的更多信息。
适合于科学前沿的可靠流体系统解决方案
了解为何芬兰稀释制冷机制造商 Bluefors 信赖世伟洛克提供的流体系统部件和解决方案，来助力于量子计算、实验物理学等领域。