
世伟洛克® 原子层沉积 (ALD) 阀
世伟洛克超高纯原子层沉积 (ALD) 阀具有超高循环寿命、高速执行、流量、热浸没和超高洁净度,可在先进半导体制造应用中实现精确进料并尽可能地提高芯片产量。
索取 ALD 阀门信息ALD 阀门问世以来,我们一直与半导体工具 OEM 和晶圆厂密切合作,提供的先进 ALD 阀门技术具有超高的精度、一致性、洁净度和高循环寿命,是紧跟市场快速创新步伐所必需的。世伟洛克® ALD 阀门可支持芯片生产效率的提高,并克服 ALD 工艺通常面临的挑战。
我们的 ALD 超高纯阀具有以下特点:
- 快速动作下的超高循环寿命
- Cv 范围从 0.27 至 1.7
- 指定型号的承温能力高达 392°F (200°C)
- 电子或光学执行机构位置传感选购件
- 洁净度适合超高纯应用
- 模块化表面安装、卡套管对焊和 VCR® 端接
原子层沉积 (ALD) 阀类别
原子层沉积 (ALD) 阀目录
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原子层沉积 (ALD) 隔膜阀,高速执行下的超高循环寿命 ,Cv 0.27 到 0.62,耐热执行器, 耐温高达 200°C(392°F),电子执行器位置传感选购件,合采用 316L VIM-VAR 不锈钢阀体的超高纯应用场合,VCR®, 卡套管对焊和模块化表面安装端接

世伟洛克为您精心准备的产品、服务和解决方案

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