世伟洛克® 隔膜密封阀
世伟洛克隔膜密封阀通过尽可能地减少截流区，并利用完全可清扫流道便于进行吹扫操作，在实现有效切断流体的同时提高了系统效率。此类阀门具有较长的循环寿命，并有多种尺寸、材料和配置可供选择，以满足高纯和超高纯 (UHP) 应用的系统要求。
查看隔膜阀世伟洛克隔膜密封阀有多种尺寸、材料和配置可供选择，以满足高纯和超高纯应用的需求。其流量系数范围为 0.20 至 13。其完全可清扫流道和耐腐蚀结构使其成为对清洁度要求很高的应用的理想选择。用户可以选择手动、气动和具有锁定机构的选购件。
世伟洛克隔膜密封阀可用于原子层沉积 (ALD)、高流量模块化气体系统、热浸没应用以及需要含氟聚合物组件结构的超高纯应用场合。
- 用于模块化气体系统的世伟洛克无弹簧隔膜阀易于安装，可直观显示流向，其阀座设计可提高热稳定性
- 世伟洛克大宗气体隔膜阀提供了强度、灵活性和循环寿命的组合，以支持广泛的超高纯关断、大宗气体分配和隔离应用
- 世伟洛克热浸没型隔膜阀可完全置入高温、高纯的环境中，使其成为 ALD 和前驱体输送应用的有力选择
- 世伟洛克超高纯含氟聚合物隔膜阀为 UHP 化学品分配、去离子水和大宗化学品输送系统提供了强大的解决方案。
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隔膜密封阀类别
超高純度用フルオロポリマー・ダイヤフラム・バルブ、DRPシリーズ
フルオロポリマー・ダイヤフラム・バルブは、流路から障害物を一掃したデザインで応力や流体のコンタミネーションを最小限に抑えると同時に、超高純度薬液システムのパフォーマンスおよび耐久性を最大限に高めます。
集積化ガス・システム用スプリングレス・ダイヤフラム・バルブ、1.125インチ、DEシリーズ
本バルブは、スプリングレス構造を採用し、信頼性およびパフォーマンスの向上を図っています。集積化ガス・システムのオペレーションの効率化に最適です。
ダイヤフラム・バルブのカタログ
構成部品とその材質、使用圧力、使用温度、オプション、アクセサリーなど、製品に関する詳細情報につきましては、以下の資料をご参照ください。
■ 1.125 インチ集積サイズのCシール／Wシール・デザイン／■ 形状：2 ポート／3ポート／■ アクチュエーター作動型式：空気式／手動式／■ ボディに対するアクチュエーターの向きが一定のため、一貫した取り付けが可能／■ 二次側のボディの角を面取りしているため、流れの方向が一目で確認可能
Swagelok thermal-immersion diaphragm valves offer high-speed actuation and are designed for optimum performance at 220 degrees C (428 degrees F) for high-temperature processes.
■ 空気作動式バルブ（2方タイプ／3方タイプ）、1/4 回転手動式バルブ（2方タイプ）、手動式流量調節バルブ、空気作動式流量調節バルブ（開度調節機能付き、ストローク・リミッター）、空気作動式流量調節バルブ（バイバス流量調節機能付き、トリックル・フロー）／■ 接液・接ガス部の材質：次世代PTFE／アクチュエーターの材質：ポリプロピレン／■ 超高純度システム・コンポーネント向けのSEMI F57-0301に適合／■ 標準のエンド・コネクション：フレアー継手、スーパー300 タイプピラーフィッティング／Flowell（フロウエル）、スペース・セーバーなど／その他のエンド・コネクションもございます／■ カスタム・マニホールドやサブアセンブリーもございます
■ パッキンを用いておらず、耐圧部材はすべて金属／■ 使用圧力範囲：真空から24.1 MPaまで／■ 使用温度範囲：273℃から121℃まで
■ 超高純度用／■ ボディ材質：316L VIM-VAR ステンレス鋼／■ モデル：低圧型、高圧型／■ エンド・コネクション・タイプ：VCR® メタル・ガスケット式面シール継手、チューブ突き合わせ溶接、集積モデル／■ アクチュエーター・タイプ：手動式、空気式
■ 最高使用圧力：2.06 MPa／■ 用途：締め切り用、バルク・ガス供給用、アイソレーション用／■ ボディ材質：ステンレス鋼（鋳造製／鍛造製／バー・ストック製）／■ エンド・コネクション・サイズ：1/4 インチから1 インチまで、12 mmから25 mmまで
■ ボディ材質：316L VAR ステンレス鋼／■ 最高使用圧力：2.06 MPa／■ エンド・コネクション・サイズ：1/4 インチ、3/8 インチ、1/2 インチ、10 mm、12 mm
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