Swagelok® Diaphragm-Sealed Valves
Swagelok diaphragm-sealed valves improve system efficiency while providing effective flow shutoff by minimizing entrapment areas and facilitating purging with a fully swept flow path. They have long cycle lives and are available in a variety of sizes, materials, and configurations to meet the system requirements of high-purity and ultrahigh-purity (UHP) applications.
View Diaphragm ValvesSwagelok diaphragm-sealed valves come in various sizes, materials, and configurations to meet the needs of high-purity and UHP applications. They feature flow coefficients ranging from 0.20 to 13. Their fully swept flow paths and corrosion-resistant construction make them ideal for applications where cleanliness is crucial. Users can choose from manual, pneumatic, and locking actuator options.
Swagelok diaphragm-sealed valves can be used in atomic layer deposition (ALD), high-flow, modular gas system, thermal-immersion, and ultrahigh-purity applications requiring fluoropolymer component construction.
- Swagelok springless diaphragm valves for modular gas systems are easy to install, provide a visual indication of flow direction, and have a seat design that improves thermal stability
- Swagelok bulk gas diaphragm valves offer a combination of strength, flexibility, and cycle life to support a wide range of ultrahigh-purity shutoff, bulk-gas distribution, and isolation applications
- Swagelok thermal-immersion diaphragm valves can be entirely contained within a high-temperature, high-purity environment, making them strong options for ALD and precursor delivery applications
- Swagelok ultrahigh-purity fluoropolymer diaphragm valves offer a strong solution for UHP chemical distribution, DI water, and bulk chemical delivery systems
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Diaphragm-Sealed Valves Categories
High-Purity High-Pressure Diaphragm Valves, DL and DS Series
Discover high-purity, high-pressure diaphragm valves with repetitive shutoff with a fully contained softseat stem tip, standard bottom, and panel mounting.
Multi-Valve Manifolds
Find multi-valve manifolds with diaphragm-sealed valves. Designed for reliable performance, these manifolds offer high purity and precise fluid control.
Spare Parts and Accessories
Browse quality valve maintenance components for diaphragm-sealed valve spare parts and accessories, including diaphragm and seal kits, stem kits, and actuator kits.
Ultrahigh-Purity High-Flow Diaphragm Valves, DF Series
Increase cycle life with high-flow, springless diaphragm valves. No springs or threads improve cleanliness and fully swept flow path enhances purging.
Ultrahigh-Purity High-Pressure Diaphragm Valves, DPH Series
超高純度／高圧用ダイヤフラム・バルブは、さまざまなサイズ、材質、形状を選ぶことができ、幅広いアプリケーションに適合します。
Ultrahigh-Purity Shutoff Diaphragm Valves, DP Series
View ultrahigh-purity shutoff diaphragm valves with straight pattern and manual actuation, multiport and modular surface mount (MSM) with integrated actuators.
超高純度用フルオロポリマー・ダイヤフラム・バルブ、DRPシリーズ
フルオロポリマー・ダイヤフラム・バルブは、流路から障害物を一掃したデザインで応力や流体のコンタミネーションを最小限に抑えると同時に、超高純度薬液システムのパフォーマンスおよび耐久性を最大限に高めます。
集積化ガス・システム用スプリングレス・ダイヤフラム・バルブ、1.125インチ、DEシリーズ
本バルブは、スプリングレス構造を採用し、信頼性およびパフォーマンスの向上を図っています。集積化ガス・システムのオペレーションの効率化に最適です。
Diaphragm-Sealed Valves Catalogs
Locate detailed product information, including materials of construction, pressure and temperature ratings, options, and accessories.
■ 1.125 インチ集積サイズのCシール／Wシール・デザイン／■ 形状：2 ポート／3ポート／■ アクチュエーター作動型式：空気式／手動式／■ ボディに対するアクチュエーターの向きが一定のため、一貫した取り付けが可能／■ 二次側のボディの角を面取りしているため、流れの方向が一目で確認可能
Swagelok thermal-immersion diaphragm valves offer high-speed actuation and are designed for optimum performance at 220 degrees C (428 degrees F) for high-temperature processes.
■ 空気作動式バルブ（2方タイプ／3方タイプ）、1/4 回転手動式バルブ（2方タイプ）、手動式流量調節バルブ、空気作動式流量調節バルブ（開度調節機能付き、ストローク・リミッター）、空気作動式流量調節バルブ（バイバス流量調節機能付き、トリックル・フロー）／■ 接液・接ガス部の材質：次世代PTFE／アクチュエーターの材質：ポリプロピレン／■ 超高純度システム・コンポーネント向けのSEMI F57-0301に適合／■ 標準のエンド・コネクション：フレアー継手、スーパー300 タイプピラーフィッティング／Flowell（フロウエル）、スペース・セーバーなど／その他のエンド・コネクションもございます／■ カスタム・マニホールドやサブアセンブリーもございます
■ パッキンを用いておらず、耐圧部材はすべて金属／■ 使用圧力範囲：真空から24.1 MPaまで／■ 使用温度範囲：273℃から121℃まで
■ 超高純度用／■ ボディ材質：316L VIM-VAR ステンレス鋼／■ モデル：低圧型、高圧型／■ エンド・コネクション・タイプ：VCR® メタル・ガスケット式面シール継手、チューブ突き合わせ溶接、集積モデル／■ アクチュエーター・タイプ：手動式、空気式
■ 最高使用圧力：2.06 MPa／■ 用途：締め切り用、バルク・ガス供給用、アイソレーション用／■ ボディ材質：ステンレス鋼（鋳造製／鍛造製／バー・ストック製）／■ エンド・コネクション・サイズ：1/4 インチから1 インチまで、12 mmから25 mmまで
■ ボディ材質：316L VAR ステンレス鋼／■ 最高使用圧力：2.06 MPa／■ エンド・コネクション・サイズ：1/4 インチ、3/8 インチ、1/2 インチ、10 mm、12 mm
Calculate Flow Rate for the Right Valve Selection
Use our valve flow coefficient (Cv) calculator to chose a valve sized correctly for your needs.
Use the ToolSwagelok Resources Curated for You
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