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Swagelok DH Series Thermal-Immersion Diaphragm Valves

世伟洛克®热浸没型隔膜阀(DH 系列)

世伟洛克热浸没型隔膜阀提供高速启动并为在高温工艺中获得优秀性能而设计。

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DH 系列热浸没型隔膜阀是为那些需要将阀门完全封闭在高温、高纯环境中的应用而设计的,如原子层沉积 (ALD) 和前躯体输送应用。高纯级 PFA 阀座具有广泛的化学品相容性和优异的抗膨胀和抗污染能力。阀体中的完全可清扫流道,尽可能地减小了截留区,增强流动能力。

流量系数高达 0.60,有各种 1/4 和 3/8 in. 的端接,以及气动和手动型号 — 常闭式执行机构的阀门开启或关闭时间小于 5 ms — 可满足广泛的系统需求。该阀在 220°C (428°F) 的条件下设计为优秀性能。

规格

工作压力 真空至 70 psig (4.8 bar)
爆裂压力 > 3200 psig (220 bar)
执行压力 60 至 90 psig(4.1 至 6.2 bar)
温度 20° 至 220°C(70° 至 428°F)
流量系数
“H”型 VCR® 连接件 20°C (70°F) 下为 0.60
220°C (428°F) 下为 0.40
VCR 和所有其他连接件 20°C (70°F)
下为 0.30 220°C (428°F) 下为 0.21
模块化表面安装 阀体 20°C (70°F)
下为 0.25 220°C (428°F) 下为 0.21
阀体材料 316L VIM-VAR 不锈钢
隔膜材料 钴基高温合金
端接
类型 VCR 和“H”型 VCR 金属垫片面密封接头、卡套管对焊;模块化表面安装 (MSM)
尺寸 1/4 和 3/8 in.
1.125 和 1.5 in. MSM

DH 系列热浸没型隔膜阀目录

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