Swagelok®サーマル・イマージョン・ダイヤフラム・バルブ（DHシリーズ）
Swagelokサーマル・イマージョン・ダイヤフラム・バルブ DHシリーズは高速での開閉が可能で、高温プロセスで最適なパフォーマンスを発揮します。
詳細について問い合わせるSwagelok®サーマル・イマージョン・ダイヤフラム・バルブ DHシリーズは、原子層蒸着（ALD） やプリカーサー供給用途など、高温／高純度環境でバルブを完全に組み込む必要のあるアプリケーションに適しています。完全に組み込まれた高純度PFA製シートは幅広い耐薬品性を持ち、膨潤とコンタミネーションに対する耐性に優れています。ボディの流路から障害物を一掃しているため、たまり部を最小限に抑え、大流量を実現しています。
流量係数（Cv値）は最大0.60、エンド・コネクション（サイズ：1/4 インチ、3/8 インチ）が豊富で、アクチュエーターは空気作動式と手動式があるなど、幅広いシステムのニーズに対応可能です。ノーマル・クローズ型のアクチュエーターは5 ms未満でバルブを開閉することができます。バルブは、220°Cで最適なパフォーマンスを発揮します。
DHシリーズ・バルブに関して質問がありますか？
サーマル・イマージョン・ダイヤフラム・バルブのカタログ
構成部品とその材質、使用圧力、使用温度、オプション、アクセサリーなど、製品に関する詳細情報につきましては、以下の資料をご参照ください。
Swagelok thermal-immersion diaphragm valves offer high-speed actuation and are designed for optimum performance at 220 degrees C (428 degrees F) for high-temperature processes.
関連資料／コラム記事
産業用流体システムに適したバルブを選定する方法
産業用流体システムやサンプリング・システムの設計アプリケーションに適したバルブを選定するためのSTAMPEDメソッドの適用方法を紹介します。
Q&A：半導体製造の過去・現在・将来
半導体装置メーカー、マイクロデバイス・メーカー、流体システム・ソリューションのプロバイダーが連携することで、数十年間にわたっていかにして半導体市場はムーアの法則の要求に追いつくことができたのでしょうか。これからの展望と併せて紹介します。
利用优化的合金提高半导体制造良率
了解半导体制造商如何通过为关键流体系统组件选择合适的金属材料，提高端到端制造良率并提高长期盈利能力。
One New Valve. Three Reasons It Could Change Semiconductor Manufacturing
Find out how the latest innovation in atomic layer deposition (ALD) valve technology is changing the game for high-tech semiconductor manufacturers.