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超高纯度隔膜阀,ALD3 和 ALD6 系列
世伟洛克 ALD3 和 ALD6 系列隔膜阀用于半导体制造设备,以实现原子层沉积 (ALD) 处理所需的可控计量。它们具有超高循环寿命、快速驱动和高达 0.62 的流量系数。 超高纯世伟洛克 ® ALD3 和世伟洛克 ® ALD6 隔膜阀旨在为 半导体制造商 提供可靠、快速的前驱体定量,用于在沉积腔室中逐层搭建微芯片。这些高性能超高纯阀门具有超高的循环寿命、高温下的完全浸入性以及超高纯应用的适用性。 ALD3 和 ALD6 阀门使用的隔膜由钴基超级合金材料组成,具有高强度和耐腐蚀性。其阀体采用 316L VIM-VAR 不锈钢,因此适用于超高纯应用。阀座由氟化高纯度 PFA 制...
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超高纯度隔膜阀,ALD7 系列
世伟洛克 ALD7 超高纯阀提供了在新的或已有的半导体制造设备中,帮助尽可能地提高芯片产量所必需的流量一致性和流通能力、执行机构速度、温度等级和洁净度。 用于原子层沉积 (ALD) 处理的世伟洛克 ® ALD7 超高纯隔膜阀通过实现流量一致性和流通能力、执行速度以及克服生产工艺限制所必需的高温性能,使 半导体工具制造商 和芯片制造厂能够提高可行芯片良率并增强盈利能力。它能在超高的循环寿命内,在阀门与阀门、进料与进料、腔室与腔室之间提供一致的性能。 世伟洛克 ALD7 阀门: 即使在要求苛刻的应用中,也能在数百万次循环过程中提供快速、精确的进料,并具有响应时间低至 5 ms 的增强型执行...
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原子层沉积 (ALD) 阀
世伟洛克超高纯原子层沉积 (ALD) 阀具有超高循环寿命、高速执行、流量、热浸没和超高洁净度,可在先进半导体制造应用中实现精确进料并尽可能地提高芯片产量。 ALD 阀门 问世以来,我们一直与半导体工具 OEM 和晶圆厂密切合作,提供的先进 ALD 阀门技术具有超高的精度、一致性、洁净度和高循环寿命,是紧跟市场快速创新步伐所必需的。世伟洛克 ® ALD 阀门可支持芯片生产效率的提高,并克服 ALD 工艺通常面临的挑战。 我们的 ALD 超高纯阀具有以下特点: 快速动作下的超高循环寿命 C v 范围从 0.27 至 1.7 指定型号的承温能力高达 392°F (200°C)...
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紧凑压力表阀
紧凑压力表阀重量轻、占用空间小,可实现快速、方便的压力表安装和维护。 世伟洛克紧凑压力表阀设计用于提供压力表隔离和压力表排放。它们由一个不锈钢 世伟洛克 1 系列针阀 (无面板螺母)和一个整体式不锈钢 世伟洛克吹扫阀 组成。 世伟洛克紧凑压力表阀设计用于与带有卡套管转换端接的 世伟洛克压力表 配套使用,使得表盘易于对准,减少压力表安装时间和成本。世伟洛克卡套管接头端接还可减少阀门的安装时间和成本,同时提供稳固的卡套管抓紧和抗振性。整体式吹扫阀消除了螺纹连接,减少了潜在的泄漏点。为了保护操作人员安全并防止意外拆卸,排放阀的阀盖被永久地压接在阀体上,316 不锈钢结构提供了耐久性和耐腐蚀性。 规格...
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锥形和螺纹接头
世伟洛克 ® IPT 系列锥面和螺纹接头由各种合金制成,可在不同的最终使用环境和中高以及高达 60000 psig (4134 bar) 的高压应用中提供可靠的性能。 一直以来,锥面和螺纹 (C&T) 连接在提供可靠的中高压性能方面深受信赖。世伟洛克 IPT 系列锥面和螺纹接头采用 316 不锈钢、625 合金和 2507 合金材料制成,尺寸从 1/4 in. 到 1 1/2 in. 不等。使用温度最高可达 700°F (371°C)。 可提供符合 NACE MR0175/ISO 15156 标准的世伟洛克 IPT 系列锥面和螺纹接头以及抗振动连接组件。检漏孔是...
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隔膜密封阀
世伟洛克隔膜密封阀通过尽可能地减少截流区,并利用完全可清扫流道便于进行吹扫操作,在实现有效切断流体的同时提高了系统效率。此类阀门具有较长的循环寿命,并有多种尺寸、材料和配置可供选择,以满足高纯和超高纯 (UHP) 应用的系统要求。 世伟洛克隔膜密封阀有多种尺寸、材料和配置可供选择,以满足高纯和超高纯应用的需求。其流量系数范围为 0.20 至 13。其完全可清扫流道和耐腐蚀结构使其成为对清洁度要求很高的应用的理想选择。用户可以选择手动、气动和具有锁定机构的选购件。 世伟洛克隔膜密封阀可用于原子层沉积 (ALD)、高流量模块化气体系统、热浸没应用以及需要含氟聚合物组件结构的超高纯应用场合。 用于 ...
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高压金属软管,FX 系列
FX 系列全金属高压柔性软管在高温、真空和高压腐蚀性环境中具有耐腐蚀性。 FX 系列软管是一种内管为 316L 不锈钢的波纹高压编织软管,带 321 不锈钢的双层编织层,可提高软管的承压能力。这种金属编织软管的波纹内管具有良好的柔韧性,并能防止扭结。它常用于高温真空场合、高压腐蚀环境或不希望存在渗透的场合。 观看此视频,了解有关渗透的更多信息 FX 系列高压编织软管的尺寸范围为 1/4 至 2 英寸,工作压力从真空到 6000 psig (413 bar),并提供符合 ASME 锅炉和压力容器规范第 IX 卷的各种焊接端接,可满足各种系统的需求。可提供标准和定制的组件,选项包括软管外层、软管标...
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高纯度、高流量气体调压阀,HF 系列
HF 系列调压阀压力控制精确,调节方便,是满足高流量和清洁工艺要求的理想选择。 HF 系列调压阀专为高流量系统而设计,可实现系统组件和工艺管线的紧凑布置。与传统的隔膜式调压阀相比,气动型号的尺寸明显更小,其设计可防止篡改并简化安装。 这些调压阀专为高清洁的环境要求而设计。HF 系列经久耐用并具有精确的压力控制功能,其创新的压力感应组件可尽可能地减少供气压力的影响和衰减,通常无需进行系统调整。 它们采用结合式提升阀芯,可实现清洁操作和安全关断,而全焊接设计则消除了大气密封。自定心 PCTFE 提升阀芯有助于防止蠕变并确保无泄漏密封。 HF 系列调压阀还有以下特点: 能够处理高达 3000 psi...
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检漏液
Snoop ® 和 Real Cool Snoop 检漏液通过持续的气泡作用查找难以触及之处的气体泄漏,从而帮助减少昂贵的损失和潜在的安全问题。 泄漏气体的更换费用可能会很高,可能会危及生产工艺的效率,并可能会造成严重的安全后果。因此,我们提供世伟洛克 Snoop ® 和世伟洛克 ® Real Cool Snoop 检漏液。 Snoop 和 Real Cool Snoop 检漏液可检测难以触及区域的气体泄漏。即使在 –54 至 93°C(–65 至 200°F)的环境中,持续的气泡作用也能对很小的泄漏和垂直表面产生作用。柔性检测管...
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检漏液、润滑剂和密封剂
世伟洛克检漏液、润滑剂和密封剂可在泄漏影响流体系统性能之前轻松检测、消除或避免泄漏。 检漏液 | 向您显示哪些流体系统连接处正在泄漏 润滑剂和密封剂 | 有助于防止在安装过程中形成泄漏 世伟洛克检漏液、润滑剂和密封剂可帮助工业流体系统运营商降低运营成本和所需安装时间,同时提高运营安全性。好的情况是,设施或工艺流体发生损耗,泄漏造成昂贵的损失;而坏的情况是,泄漏会使工作条件变得危险。世伟洛克提供多种检漏液、润滑剂、管道密封剂选购件,以帮助您解决和避免这些泄漏问题。 要查找流体系统中的泄漏,请将世伟洛克 Snoop ® 检漏液施加到连接点并寻找指示泄漏的气泡 为防止管道连接处形成泄漏,请选...
