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超高纯度隔膜阀,ALD3 和 ALD6 系列
世伟洛克 ALD3 和 ALD6 系列隔膜阀用于半导体制造设备,以实现原子层沉积 (ALD) 处理所需的可控计量。它们具有超高循环寿命、快速驱动和高达 0.62 的流量系数。 超高纯世伟洛克 ® ALD3 和世伟洛克 ® ALD6 隔膜阀旨在为 半导体制造商 提供可靠、快速的前驱体定量,用于在沉积腔室中逐层搭建微芯片。这些高性能超高纯阀门具有超高的循环寿命、高温下的完全浸入性以及超高纯应用的适用性。 ALD3 和 ALD6 阀门使用的隔膜由钴基超级合金材料组成,具有高强度和耐腐蚀性。其阀体采用 316L VIM-VAR 不锈钢,因此适用于超高纯应用。阀座由氟化高纯度 PFA 制...
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超高纯度隔膜阀,ALD7 系列
世伟洛克 ALD7 超高纯阀提供了在新的或已有的半导体制造设备中,帮助尽可能地提高芯片产量所必需的流量一致性和流通能力、执行机构速度、温度等级和洁净度。 用于原子层沉积 (ALD) 处理的世伟洛克 ® ALD7 超高纯隔膜阀通过实现流量一致性和流通能力、执行速度以及克服生产工艺限制所必需的高温性能,使 半导体工具制造商 和芯片制造厂能够提高可行芯片良率并增强盈利能力。它能在超高的循环寿命内,在阀门与阀门、进料与进料、腔室与腔室之间提供一致的性能。 世伟洛克 ALD7 阀门: 即使在要求苛刻的应用中,也能在数百万次循环过程中提供快速、精确的进料,并具有响应时间低至 5 ms 的增强型执行...
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焊接设备 — 焊接系统
浏览各种焊接设备选购件,包括热敏打印纸、钨电极、焊头转换接头线缆和中心规。 可提供以下规格的焊接系统: 最高 200 A 峰值输出能力 易于使用的多语种彩色触摸屏 可靠、稳定的轨道气体钨极氩弧焊电源 集成式质量流量控制器可自动控制外径保护气体流量 重约 50 lb (23 kg) 浏览各种焊接设备选购件,包括热敏打印纸、钨电极、焊头转换接头线缆和中心规。
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支持系统 — 卡套管和卡套管附件
探索用于安装卡套管和公称管的卡箍支撑、焊接板和其他支撑系统。 可提供以下规格的支持系统: 1/4 至 2 in.(6 至 25 mm) 304 或 316 不锈钢五金材料 聚丙烯、303、304 或 316 不锈钢、碳钢、316 不锈钢夹(带聚丙烯衬垫)、聚酰胺、CF8M 主体材料 探索用于安装卡套管和公称管的卡箍支撑、焊接板和其他支撑系统。
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高纯度波纹管阀,BN 系列 — 波纹管密封阀
了解具有可靠阀杆回缩、平稳驱动和联合阀帽结构的高纯阀门,以提高循环寿命和清洁度。 可提供以下规格的阀门: 1/4 至 1/2 in.(6 至 12 mm) –40°F (–40°C) 至 200°F (93°C) 316 不锈钢 45 psig (3.1 bar) 至 120 psig (8.2 bar) 了解具有可靠阀杆回缩、平稳驱动和联合阀帽结构的高纯阀门,以提高循环寿命和清洁度。
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通用波纹管阀,B 和 H 系列 — 波纹管密封阀
使用精密成形的金属波纹管阀,确保可靠关断,波纹管阀体与波纹管之间采用垫片密封或焊接密封,阀杆头用于调节服务。 可提供以下规格的阀门: 1/4 至 3/4 in.(6 至 12 mm) –80°F (–62°C) 至 900°F (482°C) 316 不锈钢、黄铜、400 合金 150 psig (10.3 bar) 至 1000 psig (68.9 bar) 使用精密成形的金属波纹管阀,确保可靠关断,波纹管阀体与波纹管之间采用垫片密封或焊接密封,阀杆头用于调节服务。
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高压波纹管阀,HB 系列 — 波纹管密封阀
探索高压、气动波纹管密封阀,该阀采用全金属密封与大气隔离,并在任一流向具有全压力额定值。 可提供以下规格的阀门: 1/4 至 1/2 in. (6 mm) –40°F (–40°C) 至 400°F (204°C) 316 不锈钢 2400 psig (165 bar) 至 3500 psig (241 bar) 探索高压、气动波纹管密封阀,该阀采用全金属密封与大气隔离,并在任一流向具有全压力额定值。
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计量波纹管阀,BM 系列 — 波纹管密封阀
可靠的计量波纹管阀具有硬化不锈钢执行机构、六圈最大流量和用于螺丝刀调节的开槽手柄。 可提供以下规格的阀门: 1/4 至 3/8 in. (6 mm) –20°F (–28°C) 至 900°F (482°C) 316 不锈钢 100 psig (6.8 bar) 至 700 psig (48.2 bar) 可靠的计量波纹管阀具有硬化不锈钢执行机构、六圈最大流量和用于螺丝刀调节的开槽手柄。
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联合接头 — VCR® 金属垫片面密封管接头
世伟洛克 VCR® 接头是最初的真空接头,为金属对金属密封连接设定了行业标准。 可提供以下规格的焊接系统: 最高 200 A 峰值输出能力 易于使用的多语种彩色触摸屏 可靠、稳定的轨道气体钨极氩弧焊电源 集成式质量流量控制器可自动控制外径保护气体流量 重约 50 lb (23 kg) 世伟洛克 VCR® 接头是最初的真空接头,为金属对金属密封连接设定了行业标准。
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气动执行机构 — 波纹管密封阀
波纹管密封阀采用高品质气动执行机构可提高系统性能,实现可靠、精确的流体控制。 可提供以下规格的阀门: 1/4 至 1/2 in. (6 mm) –40°F (–40°C) 至 400°F (204°C) 316 不锈钢 2400 psig (165 bar) 至 3500 psig (241 bar) 波纹管密封阀采用高品质气动执行机构可提高系统性能,实现可靠、精确的流体控制。
