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高流量应用型超高纯度阀，ALD20 系列
世伟洛克 ALD20 超高纯阀门能提供高流量，是需要低蒸汽压前驱体的原子层沉积工艺的理想选择。 高流量世伟洛克 ® ALD20 超高纯阀门具有世伟洛克 ® ALD 阀门应有的可靠性和性能，同时还具有以前无法实现的温度稳定性和流量可能性。它使制造商能够尝试不同的工艺和低蒸汽压化学成分，以便在不显著改变工艺的情况下实现开发先进技术所需的均匀气体沉积。 世伟洛克 ALD20 阀门可以： 在与现有 ALD 阀相同的占用空间 (1.5 in.) 中提供 1.2 C v 的流量，从而在无需重新装备的情况下提高性能 以稍大 (1.75 in.) 的标准变体提供更大的 1.7 C v &mda...
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超高纯度隔膜阀，ALD3 和 ALD6 系列
世伟洛克 ALD3 和 ALD6 系列隔膜阀用于半导体制造设备，以实现原子层沉积 (ALD) 处理所需的可控计量。它们具有超高循环寿命、快速驱动和高达 0.62 的流量系数。 超高纯世伟洛克 ® ALD3 和世伟洛克 ® ALD6 隔膜阀旨在为 半导体制造商 提供可靠、快速的前驱体定量，用于在沉积腔室中逐层搭建微芯片。这些高性能超高纯阀门具有超高的循环寿命、高温下的完全浸入性以及超高纯应用的适用性。 ALD3 和 ALD6 阀门使用的隔膜由钴基超级合金材料组成，具有高强度和耐腐蚀性。其阀体采用 316L VIM-VAR 不锈钢，因此适用于超高纯应用。阀座由氟化高纯度 PFA 制...
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超高纯度隔膜阀，ALD7 系列
世伟洛克 ALD7 超高纯阀提供了在新的或已有的半导体制造设备中，帮助尽可能地提高芯片产量所必需的流量一致性和流通能力、执行机构速度、温度等级和洁净度。 用于原子层沉积 (ALD) 处理的世伟洛克 ® ALD7 超高纯隔膜阀通过实现流量一致性和流通能力、执行速度以及克服生产工艺限制所必需的高温性能，使 半导体工具制造商 和芯片制造厂能够提高可行芯片良率并增强盈利能力。它能在超高的循环寿命内，在阀门与阀门、进料与进料、腔室与腔室之间提供一致的性能。 世伟洛克 ALD7 阀门： 即使在要求苛刻的应用中，也能在数百万次循环过程中提供快速、精确的进料，并具有响应时间低至 5 ms 的增强型执行...
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原子层沉积 (ALD) 阀
世伟洛克超高纯原子层沉积 (ALD) 阀具有超高循环寿命、高速执行、流量、热浸没和超高洁净度，可在先进半导体制造应用中实现精确进料并尽可能地提高芯片产量。 ALD 阀门 问世以来，我们一直与半导体工具 OEM 和晶圆厂密切合作，提供的先进 ALD 阀门技术具有超高的精度、一致性、洁净度和高循环寿命，是紧跟市场快速创新步伐所必需的。世伟洛克 ® ALD 阀门可支持芯片生产效率的提高，并克服 ALD 工艺通常面临的挑战。 我们的 ALD 超高纯阀具有以下特点： 快速动作下的超高循环寿命 C v 范围从 0.27 至 1.7 指定型号的承温能力高达 392°F (200°C)...
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可变面积流量计
使用世伟洛克变截面流量计测量气体和流体流量可实现一致的精度。可从玻璃管或金属管选购件中进行选择，以满足您的特定应用需求。 世伟洛克 ® 变截面流量计使用锥形管和浮子来测量液体和气体的流速。当流体流量增加时，浮子上升，当流量减少时，重力将其下拉。这些流量计易于安装和读数，设计上没有易损件，尽可能地减少了维护需求。10 比 1 的调节比—使最低测量值仅为满量程读数的十分之一—提供了测量精度。这些流量计有美制和公制两种刻度，适用于各种应用和位置。 所有世伟洛克变截面流量计都在工厂内按照指定的介质、流量范围和精度等级进行了校准，气体型使用清洁干燥的空气，液体型则使用水。...
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VCO® O 型圈面密封管接头
易于装配的世伟洛克 VCO ® O 型圈面密封接头具有完全包含在接头本体内的金属对弹性体密封，可在高纯度和一般工业公称管、卡套管和焊接系统中进行简单、快速和无泄漏的安装。 世伟洛克 VCO ® O 型圈面密封接头适用于高真空压力到临界真空压力以及广泛的温度范围。负责密封的嵌入式 O 型圈完全包含在接头本体内，以实现高效率，而接管面上的光滑表面则有助于实现可靠密封。O 型圈有多种材料可供选择，以尽可能地提高系统相容性。 我们的真空联轴 O 型圈 (VCO ® ) 接头可以轻松组装，尽可能地缩短了安装时间，非常适合在组件可能需要更换或频繁维修的情况下使用。由于安装时不需要轴...
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VCR® 金属垫片面密封管接头
世伟洛克 VCR ® 金属垫片面密封接头使您能够在高纯焊接系统中建立可靠的金属对金属密封连接。它们由高纯度材料制成，易于在狭小空间内安装，是系统流体或温度可能与 O 型圈弹性体材料不相容的情况下的理想选择。 世伟洛克 VCR ® 金属垫片面密封接头是最初的真空联轴半径 (VCR) 接头，为金属对金属密封连接设定了行业标准。世伟洛克 VCR ® 接头具有超高纯度结构，可用于从真空到正压的高纯度应用。与卡套管接头相比，面密封接头的截留面积更小，也更清洁，从而限制了在要求颗粒物含量低的应用中产生污染的可能性。金属对金属密封使 VCR ® 接头能够用于弹性体与系统流体不...
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焊接接头
世伟洛克焊接接头具有在超高纯、特殊清洁和工业应用中保持流体系统效率和安全性所需的稳定强度和使用寿命。 世伟洛克提供多种尺寸、形状和材料的焊接接头，以满足不同的应用需求。这些选择包括高纯度和一般工业卡套管对焊接头、承插焊接头、焊接转换接头和水下焊接接头。微型世伟洛克 Micro-Fit ® 接头具有与大型接头相同的流量和服务等级，设计紧凑，适用于狭小空间。 卡套管对焊接头的尺寸为 1/8 至 1 in. 和 6 至 18 mm，材质为 316、316L、316L VAR 和 316L VIM-VAR 不锈钢，旨在实现精确对准和均匀管壁，而公称管承插焊接头的管壁较厚，可在恶劣条件下延长使用...
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焊头
世伟洛克焊头可固定电极、对工件施力并确保焊接电流的流动。这些焊头专为可靠、一致的卡套管和公称管轨道气体保护钨极电弧焊 (GTAW) 而设计。它们设计精密、经久耐用，可确保每次都能获得高质量的焊接。我们的焊头具有焊接参数控制精确、设置简便、结构坚固等特点，可承受苛刻的环境。它们与各种焊接电源兼容，可根据具体项目需求进行定制。 世伟洛克焊头具有光学速度控制功能，无需转速计或校准。利用现有的焊头延长电缆，您可以在远离电源的地方进行焊接，从而提供更大的灵活性。 这些焊头适用于外径为 1/16 至 4 英寸（2 至 114 mm）的卡套管。极化电源连接器可确保焊头与电源之间的正确连接。 我们的焊头选择包...
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焊接系统
工程项目建设需要焊接的一致性和高效性，世伟洛克 M200 轨道焊接系统通过简便的触摸屏操作即可实现精确稳定的控制。其为卡套管和公称管提供了具有成本效益且可靠的轨道钨极气体保护电弧焊 (GTAW)。 设计和装配关键流体系统通常需要使用现代焊接系统。使用世伟洛克 M200 焊接系统，可以经济高效地轻松进行精确、一致、高质量的轨道钨极气体保护电弧焊 (GTAW)。该装置具有轻巧的便携式电源，支持多种焊缝配置，并提供多种焊头。 可用的工具和附件包括钨电极、中心规、夹箍、夹具、适配器电缆和热敏打印纸。世伟洛克轨道焊接系统还具有实时监控和记录功能，因此简化了文档编制以便于遵守行业规范。 世伟洛克还通过当地...