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垂直流量传感器 FV4 系列
特点:感应气体系统中流量的增减;在预先确定的流量范围内启动一个电气开关;焊接 316L SS 结构;工作压力可达 5000 psig (344 bar)
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超高纯含氟聚合物无 O 型圈提升阀芯单向阀,CHP 系列
特点:改良型 PTFE 润湿元件符合针对超高纯系统元件的 SEMI 标准 F57-0301;细牙螺纹扩口和 Nippon Pillar® Super 300 端接;低开启压力和再封闭压力
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