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高流量应用型超高纯度阀,ALD20 系列
世伟洛克 ALD20 超高纯阀门能提供高流量,是需要低蒸汽压前驱体的原子层沉积工艺的理想选择。 高流量世伟洛克 ® ALD20 超高纯阀门具有世伟洛克 ® ALD 阀门应有的可靠性和性能,同时还具有以前无法实现的温度稳定性和流量可能性。它使制造商能够尝试不同的工艺和低蒸汽压化学成分,以便在不显著改变工艺的情况下实现开发先进技术所需的均匀气体沉积。 世伟洛克 ALD20 阀门可以: 在与现有 ALD 阀相同的占用空间 (1.5 in.) 中提供 1.2 C v 的流量,从而在无需重新装备的情况下提高性能 以稍大 (1.75 in.) 的标准变体提供更大的 1.7 C v &mda...
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超高纯度隔膜阀,ALD3 和 ALD6 系列
世伟洛克 ALD3 和 ALD6 系列隔膜阀用于半导体制造设备,以实现原子层沉积 (ALD) 处理所需的可控计量。它们具有超高循环寿命、快速驱动和高达 0.62 的流量系数。 超高纯世伟洛克 ® ALD3 和世伟洛克 ® ALD6 隔膜阀旨在为 半导体制造商 提供可靠、快速的前驱体定量,用于在沉积腔室中逐层搭建微芯片。这些高性能超高纯阀门具有超高的循环寿命、高温下的完全浸入性以及超高纯应用的适用性。 ALD3 和 ALD6 阀门使用的隔膜由钴基超级合金材料组成,具有高强度和耐腐蚀性。其阀体采用 316L VIM-VAR 不锈钢,因此适用于超高纯应用。阀座由氟化高纯度 PFA 制...
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超高纯度隔膜阀,ALD7 系列
世伟洛克 ALD7 超高纯阀提供了在新的或已有的半导体制造设备中,帮助尽可能地提高芯片产量所必需的流量一致性和流通能力、执行机构速度、温度等级和洁净度。 用于原子层沉积 (ALD) 处理的世伟洛克 ® ALD7 超高纯隔膜阀通过实现流量一致性和流通能力、执行速度以及克服生产工艺限制所必需的高温性能,使 半导体工具制造商 和芯片制造厂能够提高可行芯片良率并增强盈利能力。它能在超高的循环寿命内,在阀门与阀门、进料与进料、腔室与腔室之间提供一致的性能。 世伟洛克 ALD7 阀门: 即使在要求苛刻的应用中,也能在数百万次循环过程中提供快速、精确的进料,并具有响应时间低至 5 ms 的增强型执行...
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原子层沉积 (ALD) 阀
世伟洛克超高纯原子层沉积 (ALD) 阀具有超高循环寿命、高速执行、流量、热浸没和超高洁净度,可在先进半导体制造应用中实现精确进料并尽可能地提高芯片产量。 ALD 阀门 问世以来,我们一直与半导体工具 OEM 和晶圆厂密切合作,提供的先进 ALD 阀门技术具有超高的精度、一致性、洁净度和高循环寿命,是紧跟市场快速创新步伐所必需的。世伟洛克 ® ALD 阀门可支持芯片生产效率的提高,并克服 ALD 工艺通常面临的挑战。 我们的 ALD 超高纯阀具有以下特点: 快速动作下的超高循环寿命 C v 范围从 0.27 至 1.7 指定型号的承温能力高达 392°F (200°C)...
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氨取样器
世伟洛克氨取样器可尽可能地减少操作员接触液体和汽化氨的机会,从而使无水氨取样更加安全。它还将一致性引入取样操作,显著加快取样过程,无需在设施内运输氨样本。 无水氨用于生产化肥、塑料、纺织品、石油等。为避免储罐内氨出现应力腐蚀开裂和产品质量问题,必须定期对产品取样以验证含水量为 0.2% 至 0.5%。 世伟洛克的闭环氨取样装置旨在消除传统氨样本采集方法固有的挑战。世伟洛克氨取样器具有以下特点: 封闭样本夹具: 我们的氨取样器具有封闭的玻璃罩固定装置,可通过限制操作人员暴露和影响环境的过量排放来提高安全性。该设计无需大量操作人员 PPE。玻璃前端使操作人员能够直观地监控样品状况。此外,还提供单夹...
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分析仪器
世伟洛克利用在工艺流体分析方面的丰富专业知识提供一系列解决方案,包括定制预设计子系统、流体系统组件和元件。我们提供设计、故障排除和培训服务,以支持各种流体系统应用。 世伟洛克预设计的子系统享有终身有限质保,可简化各种设施的流体取样和控制,从而确保一致性和易于安装。应用工程师使用高品质世伟洛克组件设计和构建流体系统解决方案。这些系统可使用可编程逻辑控制器 (PLC)、变送器、继电器、泵、传感器等实现半自动或全自动。 世伟洛克的解决方案包括用于分析应用的预设计子系统 (PrESS)、气体分配系统、取样系统和机械密封支持系统。提供包括接头和阀门在内的各种组件,并通过 系统评估 、 培训 和 定制设计...
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法兰转换接头
公称管法兰转世伟洛克 ® 卡套管接头转换接头提供了从法兰公称管系统到卡套管系统的无螺纹、无焊接过渡,从而限制了仪器管路等应用中的潜在泄漏点。 世伟洛克法兰转换接头提供了从法兰公称管系统到卡套管系统的无螺纹、无焊接过渡。它们由一体式整体锻件加工而成,以获得接头过渡处的理想材料强度,并尽可能地减少泄漏机会。 我们的法兰转换接头有多种合金和设计可供选择,以满足广泛的应用要求。用户可以选择全系列的密封面,包括平面、凸面和 RTJ 型。法兰转换接头的法兰类型符合 ANSI、DIN、EN 和 JIS 标准,具有各种法兰尺寸、压力等级和密封选项。法兰转换接头可包括可检测的 世伟洛克卡套管接头 端接(...
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柔性金属软管,FJ 系列
FJ 系列柔性金属软管可在高温、真空或不希望发生渗透的通用应用中减少渗透。 FJ 系列软管是一种通用 316L 不锈钢内层波纹内管,304 不锈钢单编织层提高了软管承压能力,还可选配 316L 不锈钢编织以提高耐腐蚀性。波纹内管具有灵活性并防止扭结。 观看此视频,了解有关渗透的更多信息 FJ 系列软管的尺寸范围为 1/4 至 2 英寸,工作压力为真空至 1600 psig (110 bar),并有多种符合 ASME 锅炉和压力容器规范第 IX 节的焊接端接,因此可满足各种系统的需要。柔性金属软管组件可提供其他选件,包括软管外层、软管标签和额外的氦气泄漏测试。 了解软管加强选项 规格 材料 内管...
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柔性卡套管
世伟洛克柔性卡套管可在需要透明性、化学相容性和/或在高温或低压下的弹性的应用场合安全、可靠地输送流体。 耐化学性 PFA 柔性卡套管设计用于在低压应用场合(最高 275 psig (18.9 bar))与世伟洛克 PFA 卡套管接头和世伟洛克金属卡套管接头配合使用。卡套管的半透明性可提高系统流体的可见性,而光滑的内壁则实现了流量控制和滤水性。 世伟洛克 LT 系列乙烯卡套管柔软、柔韧且透明,由光滑内孔的聚氯乙烯 (PVC) 材料制成,适用于需要系统透明性的各种实验室化学品和应用(最高40 psig (2.7 bar))。厚壁卡套管有 1/4 和 3/8 in. 尺寸可供选择,适合于真空工况应用...
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流量传感器
通过世伟洛克 ® FV4 系列流量传感器的可靠操作获得精确的气体流量测量值。 用世伟洛克 ® FV4 系列流量传感器精确监测气体系统流量的变化。这些传感器采用快动式浮子机构,其校准孔口可在浮子导轨内垂直移动,从而实现精确驱动,在流速变化时准确检测气体流量。孔口上方浮子中的嵌入式磁铁可交替保持附近磁簧开关引线之间的电气连接,从而检测流量波动。 这些传感器完全由 316L 不锈钢焊接而成,具有坚固耐用和安全的流体密封性。此外,位于流道外的可更换开关组件便于直接维护。FV4 系列流量传感器可承受高达 5000 psig (344 bar) 的工作压力。 流量传感器规格 材料 316L...
