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高流量应用型超高纯度阀,ALD20 系列
世伟洛克 ALD20 超高纯阀门能提供高流量,是需要低蒸汽压前驱体的原子层沉积工艺的理想选择。 高流量世伟洛克 ® ALD20 超高纯阀门具有世伟洛克 ® ALD 阀门应有的可靠性和性能,同时还具有以前无法实现的温度稳定性和流量可能性。它使制造商能够尝试不同的工艺和低蒸汽压化学成分,以便在不显著改变工艺的情况下实现开发先进技术所需的均匀气体沉积。 世伟洛克 ALD20 阀门可以: 在与现有 ALD 阀相同的占用空间 (1.5 in.) 中提供 1.2 C v 的流量,从而在无需重新装备的情况下提高性能 以稍大 (1.75 in.) 的标准变体提供更大的 1.7 C v &mda...
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超高纯度隔膜阀,ALD3 和 ALD6 系列
世伟洛克 ALD3 和 ALD6 系列隔膜阀用于半导体制造设备,以实现原子层沉积 (ALD) 处理所需的可控计量。它们具有超高循环寿命、快速驱动和高达 0.62 的流量系数。 超高纯世伟洛克 ® ALD3 和世伟洛克 ® ALD6 隔膜阀旨在为 半导体制造商 提供可靠、快速的前驱体定量,用于在沉积腔室中逐层搭建微芯片。这些高性能超高纯阀门具有超高的循环寿命、高温下的完全浸入性以及超高纯应用的适用性。 ALD3 和 ALD6 阀门使用的隔膜由钴基超级合金材料组成,具有高强度和耐腐蚀性。其阀体采用 316L VIM-VAR 不锈钢,因此适用于超高纯应用。阀座由氟化高纯度 PFA 制...
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背压调压阀,圆顶加载
圆顶加载工艺调压阀可尽可能地减少衰减,并提供高度稳定的出口压力,而不受进口压力或流量变化的影响。 背压工艺调压阀适用于手动或远程操作调压阀的各种工业应用。即使在进口压力或流量波动的情况下,圆顶加载工艺调压阀也能保持一致的出口压力。这种稳定性是通过加压圆顶控制机构实现的,无需固定弹簧。 这些多功能调压阀可定制各种功能,以满足特定的应用需求: 各种压力表连接选购件 先导调压阀 外部反馈系统 专门的清洁工艺 为提高自动化程度,圆顶加载调压阀可与电子先导阀配对使用。这种配置减少了手动调节的需要,并能对不断变化的系统条件做出快速响应。 在 选择调压阀 时,请向供应商询问其性能验证方法。在严格测试中表现出...
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球阀和四分之一圈旋塞阀
世伟洛克的球阀和旋塞阀为几乎所有行业提供全面的流体关断解决方案。 球阀 | 可靠的关断阀,可以根据您的应用进行选择和配置 旋塞阀 | 可靠的低扭矩操作带来经济可靠的关断解决方案 世伟洛克球阀可控制 逸散性排放 和泄漏,应用范围广泛。其设计可实现可重复、无泄漏的关断,总体拥有成本低,包括全流量、一体式仪表、三件式工艺、耳轴式和多用途配置等功能。 世伟洛克四分之一圈旋塞阀是球阀经济可靠的替代产品。简单紧凑的设计可实现全流量和可靠关断,并有多种材料可供选择,包括不锈钢、黄铜和轻质 PFA。 在选择合适的球阀或旋塞阀时是否需要帮助? 查看我们的阀门视频 了解提供多种材料的可配置开关和切换球阀以及以紧凑...
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波纹管密封阀
世伟洛克波纹管密封阀旨在降低泄漏的可能性,其中许多阀门采用无填料设计或焊接密封。在对大气密封非常关键的应用中,此类阀门可提供可靠的无泄漏性能,从而确保操作员的安全并使工艺按预期运行。 世伟洛克波纹管密封阀有多种样式和配置可供选择,使用户能找到适用于常规和高纯应用的选项。可选项包括阀体与波纹管之间采用垫片密封或焊接密封、用于关断或调节功能的阀杆头、各种端接、广泛的流量系数范围以及面板安装或底部安装方式。 世伟洛克专业的波纹管密封阀配备千分尺手柄,阀杆位置可实现小至 0.001 in. (0.025 mm) 的增量调节,从而实现精确且可重复的流量设定。 用于切换功能的紧凑型世伟洛克波纹管密封阀,可...
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台式弯管机
世伟洛克台式弯管机具有坚固耐用、重量轻的结构,可实现弯管的简便、一致,在加快安装速度的同时帮助您达到高质量标准。 世伟洛克 ® 台式弯管机可帮助您轻松生产各种配置的弯曲卡套管。它们采用坚固的铝制结构,经久耐用,并符合 CE 标准。台式弯管机的弯曲范围为 1 至 180°,适用于外径为 1/4 至 1 1/4 in. (6 to 30 mm)、壁厚为 0.028 至 0.120 in.(0.8 至 3.0 mm)的卡套管,可满足各种配置的需要。弯管机配有方便操作的注脂枪和便于储存与运输的金属手提箱。 世伟洛克台式弯管机有手动和电动两种型号,手动型号可使用 1/2 in. 钻头电机...
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大宗气体隔膜阀,LD 系列
世伟洛克 LD 系列大宗气体隔膜阀提供了强度、灵活性和循环寿命的组合,以支持广泛的超高纯关断、大宗气体分配和隔离应用。 世伟洛克 ® LD 系列大宗气体隔膜阀设计用于工作压力高达 300 psig (20.6 bar) 的 切断、大宗气体分配和隔离服务 。三个不同的隔膜提供了强度、灵活性和循环寿命的理想组合,而全金属设计则增强了安全性和耐用性。 世伟洛克 LD 系列阀门还采用创新设计,消除了湿润区域的弹簧和螺纹,从而实现了更清洁的操作并降低了污染风险。此外,独特的带 PCTFE 插件的补偿阀杆头设计可提高关断的密封性,并防止因过度拧紧而造成损坏。 规格 工作压力 最高 300 psig...
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校准和切换模块
校准和切换模块是高度可配置的预设计子系统,采用模块化平台组件构建。它们在分析前对样品进行最终调节,并允许用户使用世伟洛克液流选择系统选择多达 10 个样品和两个校准流。 世伟洛克校准和切换模块 ( CSM ) 在多个工艺样品和条件之间提供离散切换,并选择工艺流进行分析。通过确保样品以适当的压力、温度、流量和过滤程度进入分析仪内,CSM 对样品进行预处理。整体式流动回路设计保证所有液流被送到分析仪的时间都是一致的,并消除了死区或流间污染机会。 CSM 建立在世伟洛克模块化平台组件平台上,采用世伟洛克液流选择阀 (SSV),允许用户选择所需的配置。标准型号可接受 10 种工艺流体和两种校准流体(液...
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单向阀
世伟洛克直通型单向阀含有一系列可调节和固定开启压力,可控制一般用途和高纯度应用中的回流。过流阀无需旁路机构,从而增强了系统的完整性和安全性。 单向阀 | 专为单向流动的流体而设计 过流阀 | 阻止下游过流时流体的释放 世伟洛克 ® 单向阀的设计旨在使流体仅能单向流动。我们的单向阀有多种设计类型,包括 提升阀芯式 、 升降式 和 全焊接式 型号,适用于一般用途或 高纯 的应用场景,包括 中压或高压 的工况。 世伟洛克单向阀有多种端接和密封材料可供选择,使用户能够找到与其系统和工艺介质相容的易于集成的解决方案。某些世伟洛克单向阀采用全焊接设计,以便在高纯应用中可靠地容纳系统流体,还有些单向...
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紧凑压力表阀
紧凑压力表阀重量轻、占用空间小,可实现快速、方便的压力表安装和维护。 世伟洛克紧凑压力表阀设计用于提供压力表隔离和压力表排放。它们由一个不锈钢 世伟洛克 1 系列针阀 (无面板螺母)和一个整体式不锈钢 世伟洛克吹扫阀 组成。 世伟洛克紧凑压力表阀设计用于与带有卡套管转换端接的 世伟洛克压力表 配套使用,使得表盘易于对准,减少压力表安装时间和成本。世伟洛克卡套管接头端接还可减少阀门的安装时间和成本,同时提供稳固的卡套管抓紧和抗振性。整体式吹扫阀消除了螺纹连接,减少了潜在的泄漏点。为了保护操作人员安全并防止意外拆卸,排放阀的阀盖被永久地压接在阀体上,316 不锈钢结构提供了耐久性和耐腐蚀性。 规格...
