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超高纯度隔膜阀,ALD3 和 ALD6 系列
世伟洛克 ALD3 和 ALD6 系列隔膜阀用于半导体制造设备,以实现原子层沉积 (ALD) 处理所需的可控计量。它们具有超高循环寿命、快速驱动和高达 0.62 的流量系数。 超高纯世伟洛克 ® ALD3 和世伟洛克 ® ALD6 隔膜阀旨在为 半导体制造商 提供可靠、快速的前驱体定量,用于在沉积腔室中逐层搭建微芯片。这些高性能超高纯阀门具有超高的循环寿命、高温下的完全浸入性以及超高纯应用的适用性。 ALD3 和 ALD6 阀门使用的隔膜由钴基超级合金材料组成,具有高强度和耐腐蚀性。其阀体采用 316L VIM-VAR 不锈钢,因此适用于超高纯应用。阀座由氟化高纯度 PFA 制...
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原子层沉积 (ALD) 阀
世伟洛克超高纯原子层沉积 (ALD) 阀具有超高循环寿命、高速执行、流量、热浸没和超高洁净度,可在先进半导体制造应用中实现精确进料并尽可能地提高芯片产量。 ALD 阀门 问世以来,我们一直与半导体工具 OEM 和晶圆厂密切合作,提供的先进 ALD 阀门技术具有超高的精度、一致性、洁净度和高循环寿命,是紧跟市场快速创新步伐所必需的。世伟洛克 ® ALD 阀门可支持芯片生产效率的提高,并克服 ALD 工艺通常面临的挑战。 我们的 ALD 超高纯阀具有以下特点: 快速动作下的超高循环寿命 C v 范围从 0.27 至 1.7 指定型号的承温能力高达 392°F (200°C)...
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球阀和四分之一圈旋塞阀
世伟洛克的球阀和旋塞阀为几乎所有行业提供全面的流体关断解决方案。 球阀 | 可靠的关断阀,可以根据您的应用进行选择和配置 旋塞阀 | 可靠的低扭矩操作带来经济可靠的关断解决方案 世伟洛克球阀可控制 逸散性排放 和泄漏,应用范围广泛。其设计可实现可重复、无泄漏的关断,总体拥有成本低,包括全流量、一体式仪表、三件式工艺、耳轴式和多用途配置等功能。 世伟洛克四分之一圈旋塞阀是球阀经济可靠的替代产品。简单紧凑的设计可实现全流量和可靠关断,并有多种材料可供选择,包括不锈钢、黄铜和轻质 PFA。 在选择合适的球阀或旋塞阀时是否需要帮助? 查看我们的阀门视频 了解提供多种材料的可配置开关和切换球阀以及以紧凑...
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校准和切换模块
校准和切换模块是高度可配置的预设计子系统,采用模块化平台组件构建。它们在分析前对样品进行最终调节,并允许用户使用世伟洛克液流选择系统选择多达 10 个样品和两个校准流。 世伟洛克校准和切换模块 ( CSM ) 在多个工艺样品和条件之间提供离散切换,并选择工艺流进行分析。通过确保样品以适当的压力、温度、流量和过滤程度进入分析仪内,CSM 对样品进行预处理。整体式流动回路设计保证所有液流被送到分析仪的时间都是一致的,并消除了死区或流间污染机会。 CSM 建立在世伟洛克模块化平台组件平台上,采用世伟洛克液流选择阀 (SSV),允许用户选择所需的配置。标准型号可接受 10 种工艺流体和两种校准流体(液...
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VCO® O 型圈面密封管接头
易于装配的世伟洛克 VCO ® O 型圈面密封接头具有完全包含在接头本体内的金属对弹性体密封,可在高纯度和一般工业公称管、卡套管和焊接系统中进行简单、快速和无泄漏的安装。 世伟洛克 VCO ® O 型圈面密封接头适用于高真空压力到临界真空压力以及广泛的温度范围。负责密封的嵌入式 O 型圈完全包含在接头本体内,以实现高效率,而接管面上的光滑表面则有助于实现可靠密封。O 型圈有多种材料可供选择,以尽可能地提高系统相容性。 我们的真空联轴 O 型圈 (VCO ® ) 接头可以轻松组装,尽可能地缩短了安装时间,非常适合在组件可能需要更换或频繁维修的情况下使用。由于安装时不需要轴...
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VCR® 金属垫片面密封管接头
世伟洛克 VCR ® 金属垫片面密封接头使您能够在高纯焊接系统中建立可靠的金属对金属密封连接。它们由高纯度材料制成,易于在狭小空间内安装,是系统流体或温度可能与 O 型圈弹性体材料不相容的情况下的理想选择。 世伟洛克 VCR ® 金属垫片面密封接头为金属对金属密封连接设定了行业标准。世伟洛克 VCR ® 接头具有超高纯度结构,可用于从真空到正压的高纯度应用。与卡套管接头相比,面密封接头的截留面积更小,也更清洁,从而限制了在要求颗粒物含量低的应用中产生污染的可能性。金属对金属密封使 VCR ® 接头能够用于弹性体与系统流体不相容的应用场合。 世伟洛克 VCR &r...
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焊接接头
世伟洛克焊接接头具有在超高纯、特殊清洁和工业应用中保持流体系统效率和安全性所需的稳定强度和使用寿命。 世伟洛克提供多种尺寸、形状和材料的焊接接头,以满足不同的应用需求。这些选择包括高纯度和一般工业卡套管对焊接头、承插焊接头、焊接转换接头和水下焊接接头。微型世伟洛克 Micro-Fit ® 接头具有与大型接头相同的流量和服务等级,设计紧凑,适用于狭小空间。 卡套管对焊接头的尺寸为 1/8 至 1 in. 和 6 至 18 mm,材质为 316、316L、316L VAR 和 316L VIM-VAR 不锈钢,旨在实现精确对准和均匀管壁,而公称管承插焊接头的管壁较厚,可在恶劣条件下延长使用...
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焊头
世伟洛克焊头可固定电极、对工件施力并确保焊接电流的流动。这些焊头专为可靠、一致的卡套管和公称管轨道气体保护钨极电弧焊 (GTAW) 而设计。它们设计精密、经久耐用,可确保每次都能获得高质量的焊接。我们的焊头具有焊接参数控制精确、设置简便、结构坚固等特点,可承受苛刻的环境。它们与各种焊接电源兼容,可根据具体项目需求进行定制。 世伟洛克焊头具有光学速度控制功能,无需转速计或校准。利用现有的焊头延长电缆,您可以在远离电源的地方进行焊接,从而提供更大的灵活性。 这些焊头适用于外径为 1/16 至 4 英寸(2 至 114 mm)的卡套管。极化电源连接器可确保焊头与电源之间的正确连接。 我们的焊头选择包...
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焊接系统
工程项目建设需要焊接的一致性和高效性,世伟洛克 M200 轨道焊接系统通过简便的触摸屏操作即可实现精确稳定的控制。其为卡套管和公称管提供了具有成本效益且可靠的轨道钨极气体保护电弧焊 (GTAW)。 设计和装配关键流体系统通常需要使用现代焊接系统。使用世伟洛克 M200 焊接系统,可以经济高效地轻松进行精确、一致、高质量的轨道钨极气体保护电弧焊 (GTAW)。该装置具有轻巧的便携式电源,支持多种焊缝配置,并提供多种焊头。 可用的工具和附件包括钨电极、中心规、夹箍、夹具、适配器电缆和热敏打印纸。世伟洛克轨道焊接系统还具有实时监控和记录功能,因此简化了文档编制以便于遵守行业规范。 世伟洛克还通过当地...
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凝聚过滤器 — 过滤器
这些凝聚过滤器可有效过滤空气和气体流,去除液体气溶胶、水和油,保护敏感设备。 可提供以下规格的过滤器: 1/8 至 1/4 in. (6 mm) 0°F (–17°C) 至 400°F (204°C) 316 不锈钢 760 psig (52.3 bar) 至 1000 psig (68.9 bar) 最大流量 48 至 700 std L/min(1.7 至 25 std ft 3 /min) 这些凝聚过滤器可有效过滤空气和气体流,去除液体气溶胶、水和油,保护敏感设备。
