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高流量应用型超高纯度阀,ALD20 系列
世伟洛克 ALD20 超高纯阀门能提供高流量,是需要低蒸汽压前驱体的原子层沉积工艺的理想选择。 高流量世伟洛克 ® ALD20 超高纯阀门具有世伟洛克 ® ALD 阀门应有的可靠性和性能,同时还具有以前无法实现的温度稳定性和流量可能性。它使制造商能够尝试不同的工艺和低蒸汽压化学成分,以便在不显著改变工艺的情况下实现开发先进技术所需的均匀气体沉积。 世伟洛克 ALD20 阀门可以: 在与现有 ALD 阀相同的占用空间 (1.5 in.) 中提供 1.2 C v 的流量,从而在无需重新装备的情况下提高性能 以稍大 (1.75 in.) 的标准变体提供更大的 1.7 C v &mda...
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超高纯度隔膜阀,ALD3 和 ALD6 系列
世伟洛克 ALD3 和 ALD6 系列隔膜阀用于半导体制造设备,以实现原子层沉积 (ALD) 处理所需的可控计量。它们具有超高循环寿命、快速驱动和高达 0.62 的流量系数。 超高纯世伟洛克 ® ALD3 和世伟洛克 ® ALD6 隔膜阀旨在为 半导体制造商 提供可靠、快速的前驱体定量,用于在沉积腔室中逐层搭建微芯片。这些高性能超高纯阀门具有超高的循环寿命、高温下的完全浸入性以及超高纯应用的适用性。 ALD3 和 ALD6 阀门使用的隔膜由钴基超级合金材料组成,具有高强度和耐腐蚀性。其阀体采用 316L VIM-VAR 不锈钢,因此适用于超高纯应用。阀座由氟化高纯度 PFA 制...
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超高纯度隔膜阀,ALD7 系列
世伟洛克 ALD7 超高纯阀提供了在新的或已有的半导体制造设备中,帮助尽可能地提高芯片产量所必需的流量一致性和流通能力、执行机构速度、温度等级和洁净度。 用于原子层沉积 (ALD) 处理的世伟洛克 ® ALD7 超高纯隔膜阀通过实现流量一致性和流通能力、执行速度以及克服生产工艺限制所必需的高温性能,使 半导体工具制造商 和芯片制造厂能够提高可行芯片良率并增强盈利能力。它能在超高的循环寿命内,在阀门与阀门、进料与进料、腔室与腔室之间提供一致的性能。 世伟洛克 ALD7 阀门: 即使在要求苛刻的应用中,也能在数百万次循环过程中提供快速、精确的进料,并具有响应时间低至 5 ms 的增强型执行...
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预设计子系统 (PrESS)
用于分析应用的世伟洛克预设计子系统 (PrESS) 是由流体系统专家设计和装配的,其结构紧凑、精确、使用方便。 预设计且完全组装的流体取样和控制子系统为您的操作带来效率和一致性。使用世伟洛克预设计子系统 (PrESS) 部署资料齐全的流体取样和控制系统,不必在多个零部件的获取和组装方面忧心。 设计用于处理液体和气体的所有类型的工厂和设施,我们经过验证的子系统尽可能地减少了系统的占用空间,简化了系统设计,并促进了代表性样品和准确分析结果的实现。 了解有关世伟洛克流体系统装配服务的更多信息 了解为提高精确性和便利性而预先装配和优化的紧凑型取样、分配和工艺子系统。 了解为提高精确性和便利性而预先装配...
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背压调压阀,圆顶加载
圆顶加载工艺调压阀可尽可能地减少衰减,并提供高度稳定的出口压力,而不受进口压力或流量变化的影响。 背压工艺调压阀适用于手动或远程操作调压阀的各种工业应用。即使在进口压力或流量波动的情况下,圆顶加载工艺调压阀也能保持一致的出口压力。这种稳定性是通过加压圆顶控制机构实现的,无需固定弹簧。 这些多功能调压阀可定制各种功能,以满足特定的应用需求: 各种压力表连接选购件 先导调压阀 外部反馈系统 专门的清洁工艺 为提高自动化程度,圆顶加载调压阀可与电子先导阀配对使用。这种配置减少了手动调节的需要,并能对不断变化的系统条件做出快速响应。 在 选择调压阀 时,请向供应商询问其性能验证方法。在严格测试中表现出...
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波纹管密封阀
世伟洛克波纹管密封阀旨在降低泄漏的可能性,其中许多阀门采用无填料设计或焊接密封。在对大气密封非常关键的应用中,此类阀门可提供可靠的无泄漏性能,从而确保操作员的安全并使工艺按预期运行。 世伟洛克波纹管密封阀有多种样式和配置可供选择,使用户能找到适用于常规和高纯应用的选项。可选项包括阀体与波纹管之间采用垫片密封或焊接密封、用于关断或调节功能的阀杆头、各种端接、广泛的流量系数范围以及面板安装或底部安装方式。 世伟洛克专业的波纹管密封阀配备千分尺手柄,阀杆位置可实现小至 0.001 in. (0.025 mm) 的增量调节,从而实现精确且可重复的流量设定。 用于切换功能的紧凑型世伟洛克波纹管密封阀,可...
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台式弯管机
世伟洛克台式弯管机具有坚固耐用、重量轻的结构,可实现弯管的简便、一致,在加快安装速度的同时帮助您达到高质量标准。 世伟洛克 ® 台式弯管机可帮助您轻松生产各种配置的弯曲卡套管。它们采用坚固的铝制结构,经久耐用,并符合 CE 标准。台式弯管机的弯曲范围为 1 至 180°,适用于外径为 1/4 至 1 1/4 in. (6 to 30 mm)、壁厚为 0.028 至 0.120 in.(0.8 至 3.0 mm)的卡套管,可满足各种配置的需要。弯管机配有方便操作的注脂枪和便于储存与运输的金属手提箱。 世伟洛克台式弯管机有手动和电动两种型号,手动型号可使用 1/2 in. 钻头电机...
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焊接设备 — 焊接系统
浏览各种焊接设备选购件,包括热敏打印纸、钨电极、焊头转换接头线缆和中心规。 可提供以下规格的焊接系统: 最高 200 A 峰值输出能力 易于使用的多语种彩色触摸屏 可靠、稳定的轨道气体钨极氩弧焊电源 集成式质量流量控制器可自动控制外径保护气体流量 重约 50 lb (23 kg) 浏览各种焊接设备选购件,包括热敏打印纸、钨电极、焊头转换接头线缆和中心规。
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支持系统 — 卡套管和卡套管附件
探索用于安装卡套管和公称管的卡箍支撑、焊接板和其他支撑系统。 可提供以下规格的支持系统: 1/4 至 2 in.(6 至 25 mm) 304 或 316 不锈钢五金材料 聚丙烯、303、304 或 316 不锈钢、碳钢、316 不锈钢夹(带聚丙烯衬垫)、聚酰胺、CF8M 主体材料 探索用于安装卡套管和公称管的卡箍支撑、焊接板和其他支撑系统。
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卡套管切割和制备 — 卡套管和卡套管附件
探索卡套管切割器、卡套管锯切导向器、切割轮螺钉、切割轮、去毛刺工具和去毛刺刀。 卡套管切割和制备附件包括: 去毛刺刀 卡套管切割器 切割轮螺钉 切割轮 去毛刺工具 卡套管端面车刀 卡套管锯切导向器 探索卡套管切割器、卡套管锯切导向器、切割轮螺钉、切割轮、去毛刺工具和去毛刺刀。
