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超高纯度隔膜阀,ALD7 系列
世伟洛克 ALD7 超高纯阀提供了在新的或已有的半导体制造设备中,帮助尽可能地提高芯片产量所必需的流量一致性和流通能力、执行机构速度、温度等级和洁净度。 用于原子层沉积 (ALD) 处理的世伟洛克 ® ALD7 超高纯隔膜阀通过实现流量一致性和流通能力、执行速度以及克服生产工艺限制所必需的高温性能,使 半导体工具制造商 和芯片制造厂能够提高可行芯片良率并增强盈利能力。它能在超高的循环寿命内,在阀门与阀门、进料与进料、腔室与腔室之间提供一致的性能。 世伟洛克 ALD7 阀门: 即使在要求苛刻的应用中,也能在数百万次循环过程中提供快速、精确的进料,并具有响应时间低至 5 ms 的增强型执行...
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原子层沉积 (ALD) 阀
世伟洛克超高纯原子层沉积 (ALD) 阀具有超高循环寿命、高速执行、流量、热浸没和超高洁净度,可在先进半导体制造应用中实现精确进料并尽可能地提高芯片产量。 ALD 阀门 问世以来,我们一直与半导体工具 OEM 和晶圆厂密切合作,提供的先进 ALD 阀门技术具有超高的精度、一致性、洁净度和高循环寿命,是紧跟市场快速创新步伐所必需的。世伟洛克 ® ALD 阀门可支持芯片生产效率的提高,并克服 ALD 工艺通常面临的挑战。 我们的 ALD 超高纯阀具有以下特点: 快速动作下的超高循环寿命 C v 范围从 0.27 至 1.7 指定型号的承温能力高达 392°F (200°C)...
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氨取样器
世伟洛克氨取样器可尽可能地减少操作员接触液体和汽化氨的机会,从而使无水氨取样更加安全。它还将一致性引入取样操作,显著加快取样过程,无需在设施内运输氨样本。 无水氨用于生产化肥、塑料、纺织品、石油等。为避免储罐内氨出现应力腐蚀开裂和产品质量问题,必须定期对产品取样以验证含水量为 0.2% 至 0.5%。 世伟洛克的闭环氨取样装置旨在消除传统氨样本采集方法固有的挑战。世伟洛克氨取样器具有以下特点: 封闭样本夹具: 我们的氨取样器具有封闭的玻璃罩固定装置,可通过限制操作人员暴露和影响环境的过量排放来提高安全性。该设计无需大量操作人员 PPE。玻璃前端使操作人员能够直观地监控样品状况。此外,还提供单夹...
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预设计子系统 (PrESS)
用于分析应用的世伟洛克预设计子系统 (PrESS) 是由流体系统专家设计和装配的,其结构紧凑、精确、使用方便。 预设计且完全组装的流体取样和控制子系统为您的操作带来效率和一致性。使用世伟洛克预设计子系统 (PrESS) 部署资料齐全的流体取样和控制系统,不必在多个零部件的获取和组装方面忧心。 设计用于处理液体和气体的所有类型的工厂和设施,我们经过验证的子系统尽可能地减少了系统的占用空间,简化了系统设计,并促进了代表性样品和准确分析结果的实现。 了解有关世伟洛克流体系统装配服务的更多信息 了解为提高精确性和便利性而预先装配和优化的紧凑型取样、分配和工艺子系统。 了解为提高精确性和便利性而预先装配...
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背压调压阀,圆顶加载
圆顶加载工艺调压阀可尽可能地减少衰减,并提供高度稳定的出口压力,而不受进口压力或流量变化的影响。 背压工艺调压阀适用于手动或远程操作调压阀的各种工业应用。即使在进口压力或流量波动的情况下,圆顶加载工艺调压阀也能保持一致的出口压力。这种稳定性是通过加压圆顶控制机构实现的,无需固定弹簧。 这些多功能调压阀可定制各种功能,以满足特定的应用需求: 各种压力表连接选购件 先导调压阀 外部反馈系统 专门的清洁工艺 为提高自动化程度,圆顶加载调压阀可与电子先导阀配对使用。这种配置减少了手动调节的需要,并能对不断变化的系统条件做出快速响应。 在 选择调压阀 时,请向供应商询问其性能验证方法。在严格测试中表现出...
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校准和切换模块
校准和切换模块是高度可配置的预设计子系统,采用模块化平台组件构建。它们在分析前对样品进行最终调节,并允许用户使用世伟洛克液流选择系统选择多达 10 个样品和两个校准流。 世伟洛克校准和切换模块 ( CSM ) 在多个工艺样品和条件之间提供离散切换,并选择工艺流进行分析。通过确保样品以适当的压力、温度、流量和过滤程度进入分析仪内,CSM 对样品进行预处理。整体式流动回路设计保证所有液流被送到分析仪的时间都是一致的,并消除了死区或流间污染机会。 CSM 建立在世伟洛克模块化平台组件平台上,采用世伟洛克液流选择阀 (SSV),允许用户选择所需的配置。标准型号可接受 10 种工艺流体和两种校准流体(液...
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隔膜密封阀
世伟洛克隔膜密封阀通过尽可能地减少截流区,并利用完全可清扫流道便于进行吹扫操作,在实现有效切断流体的同时提高了系统效率。此类阀门具有较长的循环寿命,并有多种尺寸、材料和配置可供选择,以满足高纯和超高纯 (UHP) 应用的系统要求。 世伟洛克隔膜密封阀有多种尺寸、材料和配置可供选择,以满足高纯和超高纯应用的需求。其流量系数范围为 0.20 至 13。其完全可清扫流道和耐腐蚀结构使其成为对清洁度要求很高的应用的理想选择。用户可以选择手动、气动和具有锁定机构的选购件。 世伟洛克隔膜密封阀可用于原子层沉积 (ALD)、高流量模块化气体系统、热浸没应用以及需要含氟聚合物组件结构的超高纯应用场合。 用于 ...
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绝缘接头
世伟洛克绝缘接头可隔离和保护监测仪器不受电流的影响,同时仍允许流体充分流动、保持仪器精度并降低仪器更换成本。 世伟洛克绝缘接头将电气绝缘和流体密封这两个主要功能分开,从而保护仪器。模制热塑性绝缘材料具有优异的电气、化学和抗紫外线性能以及低吸水率,可在各种工作和气候条件下保持绝缘强度和完整性。 绝缘接头通常安装在天然气管道监测站之前的引压管线上,可在允许流体完全流过的同时中断阴极电流。可检测 世伟洛克 ® 卡套管接头 或锥形管螺纹端接 (NPT/BSP) 可直接连接到卡套管或公称管系统,从而减少了安装时间。 是否对绝缘接头有疑问? 联系当地专家 了解世伟洛克绝缘接头在仪表收到电流影响时仍...
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电动弯管机
体验世伟洛克电动弯管机的精确控制和效率。这些用户友好型弯管机专为大直径卡套管设计,可尽可能地减少安装时间和工作量。它们还降低了弯曲工艺中卡套管起皱或损坏的风险。 世伟洛克电动弯管机可在英制和公制卡套管上进行精确、高质量的弯管,与 世伟洛克卡套管接头 兼容。通过电动控制,这些使用简便的弯管机提高了卡套管安装的效率和一致性。多功能的设计减少了手头所需的工具数量,两个弯模可覆盖各种尺寸的卡套管。 如何弯曲卡套管以及何时弯曲卡套管有利 规格 弯曲范围为 1 至 110° 卡套管范围外径 1 至 2 in.(壁厚 0.049 至 0.220 in.)和外径 25 至 50 mm (壁厚 1.2 ...
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快速回路模块
世伟洛克快速回路模块设计用于处理从取样口到分析仪之间的长输送管路,提供尽可能小的压降,实现更快的响应时间。我们的快速回路取样系统解决方案上的互锁手柄有助于防止操作顺序错误和意外启动。 世伟洛克快速回路模块 (FLM) 设计用于处理从取样口到分析仪之间的高流量和长输送管路,以缩短在线分析仪系统的延时。世伟洛克 FLM 安装在分析仪防护罩内用来提供一条旁路,能够隔离取样系统,并为系统清洗提供吹扫气体。随后它通过一个过滤器提取样品,同时利用高流速保持过滤元件的清洁。 设计保证了无需干扰系统内的其他元件即可容易地接触到世伟洛克 FLM 内的任何元件。而且,该系统采用焊接组件以减少可能的漏点,并在直通卡...
