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Diaphragm-Sealed Valve

世伟洛克®超高纯含氟聚合隔膜阀(DRP 系列)

隔膜密封阀尽可能地减少了截流区,并通过完全可清扫流道优化吹扫,从而提高了系统效率,同时实现了有效的流量关断。多种尺寸、材料和配置(包括原子层沉积、热浸没型和无弹簧)可满足高纯和超高纯应用的系统要求。

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DRP 系列的增强型隔膜设计经过优化,可以尽可能地减少循环过程中的应力,减小滞留区域并降低工艺流体污染的机会,延长隔膜的使用寿命。改进型 PTFE 阀体有一个完全可清扫流道,以确保持续的清洁,并降低流体剪切力。

DRP 系列阀门符合 SEMI 标准 F57-0301。

规格

压力额定值 最高 100 psig (6.8 bar)
介质温度 73° 至 212°F(23° 至 100°C)
流量系数 最高 10.2
阀体、隔膜材料 改进型PTFE
端接
类型 细螺纹扩口和 Nippon Pillar Super 300® 标准
尺寸 1/4 至 1 1/4 in. 和 6 至 25 mm
配置 2 通和 3 通手动和气动关断;可调流量与旁通型

DRP 系列超高纯含氟聚合隔膜阀目录

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Swagelok flow coefficient (C<sub>v</sub>) calculator for valves

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