Swagelok® Ultrahochreine Membranventile für die Atomlagenabscheidung der Serie ALD7
Das ultrahochreine ALD7-Ventil von Swagelok sorgt dafür, dass das Durchflussverhalten, die Durchflusskapazität, die Betätigungsgeschwindigkeit, die Temperaturwerte sowie die Reinheit sichergestellt sind, die zur Maximierung des Chip-Durchsatzes in neuen oder existierenden Halbleiterproduktionsanlagen erforderlich sind.
Informationen zu ALD7-Ventilen anfordernDas ultrahochreine Swagelok® Membranventil ALD7 für die Atomlagenabscheidung (ALD) ermöglicht es Herstellern von Halbleiter-Fertigungsanlagen sowie Chipherstellern, die Chipausbeute zu erhöhen und die Rentabilität zu steigern. Für höchste Prozessanforderungen konzipiert, überzeugt das ALD 7-Ventil durch optimales Durchflussverhalten und eine optimale Durchflusskapazität, eine hohe Betätigungsgeschwindigkeit sowie Leistungsstärke in hohen Temperaturbereichen. Das ALD 7-Ventil bietet eine konstant hohe Leistung von Ventil zu Ventil, Dosis zu Dosis und Kammer zu Kammer bei maximaler Lebensdauer.
Vorteile des ALD 7-Ventils von Swagelok:
- Schnelle und präzise Dosierung über Millionen von Produktionszyklen auch in anspruchsvollsten Anwendungen und verbesserte Stellantriebstechnologie mit einer Ansprechzeit von nur 5 ms
- Beständigkeit gegen korrosive Gase dank Swagelok-Ventilkörper aus Edelstahl 316L VIM-VAR für ultrahochreine Anwendungen
- Aufheizbar bis 200 °C, solange der pneumatische Antrieb unter der maximalen Betriebstemperatur von 150 °C bleibt
- Bietet einen Durchflusskoeffizient (Cv) von bis zu 0,7; optional sind kundenspezifische Ausführungen (werkseitig eingestellt) mit Durchflusskoeffizienten von 0,5 bis 0,7 Cv erhältlich
- Gleicher Platzbedarf wie ALD-Ventile nach Industriestandard von Swagelok und integrierter Wärmeisolator zur maximalen Ausnutzung des begrenzten Platzes nahe der Reaktionskammer
ALD7-Ventile – Spezifikationen
| Betriebsdruck | Vakuum bis 10,0 bar (145 psig) |
| Berstdruck | >220 bar (3.200 psig) |
| Betätigungsdruck | 4,1 bis 8,27 bar (60 bis 120 psig) |
| Auslegungstemperatur | Standardventilkörper von 0 °C (32 °F) bis 200 °C (392 °F) |
| Durchflusskoeffizient | Standardmäßig 0,7 Cv (werkseitig) |
| Körperwerkstoffe | Edelstahl 316L VIM-VAR |
| Membranwerkstoff | Superlegierung auf Kobaltbasis |
| Endanschlüsse | Typ: VCR®-Verbindungen, 1,5 Zoll, Stumpfschweißfitting, modulare Konfiguration mit C-Dichtung für hohe Durchflusskapazitäten |
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