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Мембранные клапаны сверхвысокой степени чистоты, серии ALD3 и ALD6

世伟洛克®超高纯隔膜阀(ALD3 和 ALD6 系列)

世伟洛克 ALD3 和 ALD6 系列隔膜阀提供超高的循环寿命、快速开关和高达 0.62 的流量系数,使半导体制造商能够实现原子层沉积 (ALD) 半导体制造所需的可控计量。

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超高纯 ALD3 和 ALD6 阀门旨在为半导体制造商提供可靠、快速的前导气体定量,用于在沉积腔室中逐层搭建微芯片这些高性能超高纯阀具有以下特点:

  • 快速启动下的超高循环寿命
  • 流量系数 0.27 到 0.62,可提供定制流量系数
  • 使用耐热执行机构选购件时,可在 392°F (200°C) 下完全浸入
  • 适合于采用标准 316L VIM-VAR 不锈钢阀体的超高纯应用
  • 模块化表面安装、卡套管对焊和世伟洛克 VCR® 端接
  • 电子或光学执行机构位置传感选购件

ALD3 和 ALD6 隔膜由钴基高温合金材料构成,具备强度和耐腐蚀性;其阀体由 316L VIM-VAR 不锈钢构成,适合超高纯应用;阀座由全氟化高纯 PFA 构成,具有广泛的化学相容性和出色的抗膨胀和抗污染性。

超高纯 ALD3 和 ALD6 阀门可以设置用于常闭和常开式气动,它们有多种配置,包括两口直通和直角设计;两口、三口和四口多口阀和多阀阀组;以及两口和三口模块化表面安装阀,尺寸为 1.125 in.(仅ALD3系列)和 1.5 in. 平台。可提供耐热执行机构、位置传感器、电磁阀和用于容纳加热筒的选配阀体孔,它们都可以根据用户的具体工艺为其提供额外价值。

规格

工作压力真空至 145 psig (10.0 bar)
爆裂压力>3200 psig (220 bar)
执行压力60 至 120 psig(4.1 至 8.27 bar)
温度32° 至 392°F(0° 至 200°C)
流量系数 (Cv)0.27 或 0.62
阀体材料316L VIM-VAR 不锈钢
隔膜材料钴基高温合金
端接
类型(尺寸)内螺纹 VCR® 面密封接头(1/4 in. 至 1/2 in.)
外螺纹 VCR 面密封接头(1/4 in. 至 1/2 in.)
模块化表面安装高流量 C 型密封(1.125 in. 至 1.5 in.)

ALD3 and ALD6 系列阀门目录

查找详细的产品信息,包括结构材料、额定压力和温度、选购件及附件。

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