世伟洛克® PGU 系列超高纯压力表和世伟洛克® PGC 系列清洁干燥空气压力表设计用于广泛的应用场合，从大宗气体分配到工艺工具应用。其精度符合 ASME B40.1、EN837-1 和 JIS B7505 标准。
PGU 系列压力表为超高纯 (UHP)“洁净”，用于符合 SEMI/SEMATECH 标准的半导体气体应用，在 100/10 级洁净室中进行清洁和包装，具有 316L VAR 端接。PGC 系列压力表在 100 级清洁室中组装、清洁和包装，具有 1/4 in. NPT 端接。这两个系列均采用氮气吹扫，并在螺纹连接处加装保护帽。每个超高纯和清洁干燥空气压力表都经过 100% 的出厂校准和氦气泄漏测试，最大速率为 1× 10-9 std cm3/s。
规格
| 度盘量程 | PGU 系列：真空至 3000 psi；200 bar；21 MPa PGC 系列：真空至 6000 psi；400 bar；40 MPa |
| 度盘尺寸 | 28、40 和 50 mm（1、1 1/2 和 2 in.） |
| 精度 |
|
| 温度范围 | 环境：–40 to 140°F（–40 至 60°C） 介质：–40 至 212°F（–40 至 100°C） |
| 端接 | PGU 系列：1/4 in. 内螺纹 VCR® 接头、1/4 in. 可旋转外螺纹 VCR 接头、1/4 in. 整体式外螺纹 VCR 接头、1 1/2 in. 流通式表面安装 PGC 系列：1/4 in. 外螺纹 NPT 接头 |
Manometer—Kataloge
Hier finden Sie ausführliche Produktinformationen zu Werkstoffen, Drücken und Temperaturen, Optionen und Zubehör.
度盘尺寸为 40 和 50 mm（1, 1 1/2 和 2 in.）; 准确度符合 ASME B40.1; 316L VAR 端接（PGU 系列）; 中心向后安装和下端安装配置
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