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世伟洛克^® 超高纯和清洁干燥空气压力表（PGU 和 PGC 系列）

世伟洛克^® 超高纯和清洁干燥空气压力表使用布尔登管可靠地监测系统正压和真空。

世伟洛克^® PGU 系列超高纯压力表和世伟洛克^® PGC 系列清洁干燥空气压力表设计用于广泛的应用场合，从大宗气体分配到工艺工具应用。其精度符合 ASME B40.1、EN837-1 和 JIS B7505 标准。

PGU 系列压力表为超高纯 (UHP)“洁净”，用于符合 SEMI/SEMATECH 标准的半导体气体应用，在 100/10 级洁净室中进行清洁和包装，具有 316L VAR 端接。PGC 系列压力表在 100 级清洁室中组装、清洁和包装，具有 1/4 in. NPT 端接。这两个系列均采用氮气吹扫，并在螺纹连接处加装保护帽。每个超高纯和清洁干燥空气压力表都经过 100% 的出厂校准和氦气泄漏测试，最大速率为 1× 10-9 std cm³/s。

规格

度盘量程	PGU 系列：真空至 3000 psi；200 bar；21 MPa PGC 系列：真空至 6000 psi；400 bar；40 MPa
度盘尺寸	28、40 和 50 mm（1、1 1/2 和 2 in.）
精度	50 mm (2 in.)，量程的± 2%/1%/2%（ASME B40.1，A 级，EN 837-1 2.5 级，JIS B7505 2.5 级） 40 mm (1 1/2 in.)，量程的± 3%/2%/3%（ASME B40.1，B 级，EN 837-1 4 级，JIS B7505 4 级） 28 mm (1 in.)，量程的± 3%
温度范围	环境：–40 to 140°F（–40 至 60°C）介质：–40 至 212°F（–40 至 100°C）
端接	PGU 系列：1/4 in. 内螺纹 VCR^® 接头、1/4 in. 可旋转外螺纹 VCR 接头、1/4 in. 整体式外螺纹 VCR 接头、1 1/2 in. 流通式表面安装 PGC 系列：1/4 in. 外螺纹 NPT 接头