世伟洛克^®超高纯和清洁干燥空气压力表

世伟洛克超高纯和清洁干燥空气压力表拥有一个布尔登管来监测系统正压和真空。

PGU 系列和 PGC 系列压力表设计用于从大宗气体分配到工艺工具应用等广泛的应用。它们的精度符合 ASME B40.1 标准，表盘尺寸可提供 50 mm (2 in.)，量程 ±2% / 1% / 2%（ASME B40.1，A 级，EN 837-1 2.5 类，JIS B7505 2.5 类），以及 40 mm (1 1/2 in.)，量程± 3% / 2% / 3%（ASME B40.1，B 级，EN 837-1 4 类，JIS B7505 4 类）。

根据 SEMI/SEMATECH 标准，PGU 系列压力表是用于半导体气体应用的UHP“清洁”产品，在 100/10 级清洁室中进行清洗和包装，并具有 316L VAR 端接。

PGC 系列压力表在 100 级清洁室中组装、清洁和包装，具有 1/4 in. NPT 端接。

规格

度盘量程	PGU 系列: 真空至 3000 psi；200 bar；21 MPa PGC 系列: 真空至 6000 psi；400 bar；40 MPa
度盘尺寸	40 和 50 mm（1 1/2 和 2 in.）
精度	依照 ASME B40.100、EN837-1 和 JIS B7505
温度范围
环境温度	–40 至 140° F（–40 至 60° C）
介质	–40 至 212° F（–40 至 100° C）
端接
PGU 系列	1/4 in 内螺纹 VCR^®、1/4 in. 可旋转外螺纹 VCR、1/4 in. 整体式外螺纹 VCR、1.5 in. 流通式表面安装
PGC 系列	1/4 in. 外螺纹 NPT
测试和校准	每个超高纯和清洁干燥空气压力表都经过 100% 的出厂校准和氦气泄漏测试，最大速率为 1× 10-9 std cm³/s。