Les vannes à membrane pour immersion à haute température série DH de Swagelok® sont conçues pour les applications dans lesquelles la vanne doit être entièrement immergée dans un milieu très pur et très chaud, comme cela est le cas avec les applications de dépôt par couche atomique (ALD) et les systèmes d’alimentation en gaz précurseurs. Ces vannes sont dotées d’un siège en PFA haute pureté entièrement contenu qui est compatible avec de nombreux produits chimiques, résiste au gonflement et empêche les contaminations. Le passage d’écoulement intégralement balayé limite les zones de rétention et maximise le débit.
Des coefficients de débit jusqu’à 0,60, un vaste choix de raccordements de diamètre 1/4 po ou 3/8 po ainsi que des modèles à actionnement pneumatique ou manuel sont disponibles pour répondre aux besoins de toutes sortes de systèmes. L’actionneur « normalement fermé » est capable d’ouvrir ou de fermer la vanne en moins de 5 ms. La vanne fonctionne de manière optimale à une température de 220°C (428°F).
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热浸没型隔膜阀目录
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Swagelok thermal-immersion diaphragm valves offer high-speed actuation and are designed for optimum performance at 220 degrees C (428 degrees F) for high-temperature processes.
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