Swagelok® Ultrahochreine Membranventile für die Atomlagenabscheidung (Serien ALD3 und ALD6)
Die Membranventile der Serien ALD3 und ALD6 von Swagelok werden in Werkzeugen zur Halbleiterfertigung für eine präzise Dosierung bei der Atomlagenabscheidung eingesetzt. Sie zeichnen sich durch äußerst lange Lebensdauer, hohe Stellgeschwindigkeiten und Durchflusskoeffizienten von bis zu 0,62 aus.
索取 ALD 阀门信息超高纯世伟洛克® ALD3 和世伟洛克® ALD6 隔膜阀旨在为半导体制造商提供可靠、快速的前驱体定量，用于在沉积腔室中逐层搭建微芯片。这些高性能超高纯阀门具有超高的循环寿命、高温下的完全浸入性以及超高纯应用的适用性。
ALD3 和 ALD6 阀门使用的隔膜由钴基超级合金材料组成，具有高强度和耐腐蚀性。其阀体采用 316L VIM-VAR 不锈钢，因此适用于超高纯应用。阀座由氟化高纯度 PFA 制成，具有广泛的化学相容性以及抗膨胀和抗污染能力。这些阀门可配备常闭和常开气动执行，并有多种配置可供选择，以满足不同的安装要求。
ALD3 和 ALD6 阀门规格
| 工作压力 | 真空至 145 psig (10.0 bar) |
| 爆破压力 | >3200 psig (220 bar) |
| 执行压力 | 50 至 90 psig（3.5 至 6.2 bar） |
| 温度 | 32° 至 392°F（0° 至 200°C） |
| 流量系数 (Cv) | 0.27 或 0.62 |
| 阀体材料 | 316L VIM-VAR 不锈钢 |
| 隔膜材料 | 钴基超级合金 |
| 端接 | 类型（尺寸）：内螺纹 VCR® 面密封接头（1/4 in. 至 1/2 in.），外螺纹 VCR 面密封接头（1/4 in. 至 1/2 in.），模块化表面安装高流量 C 型密封（1.125 in. 至 1.5 in.） |
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ALD3 and ALD6 系列阀门目录
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ALD 3, 6, and 7 Diaphragm Valves and ALD20 Bellows: Ultrahigh cycle life, high-speed actuation; Up to 392°F (200°C) w thermal actuators; Electronic actuator position-sensing; ultrahigh-purity applications; High flow capacity, PFA seat, Normally closed pneumatic actuation, Alloy 22 available
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