Swagelok® Ultrahochreine Membranventile für die Atomlagenabscheidung (Serien ALD3 und ALD6)
Die Membranventile der Serien ALD3 und ALD6 von Swagelok werden in Werkzeugen zur Halbleiterfertigung für eine präzise Dosierung bei der Atomlagenabscheidung eingesetzt. Sie zeichnen sich durch äußerst lange Lebensdauer, hohe Stellgeschwindigkeiten und Durchflusskoeffizienten von bis zu 0,62 aus.
Informationen zu ALD-Ventilen anfordernDie ultrahochreinen Swagelok®Membranventile der Swagelok®Serien ALD3 und ALD6 wurden entwickelt, um Halbleiterherstellern eine zuverlässige Hochgeschwindigkeitsdosierung von Vorläufergasen zu ermöglichen, die für den schichtweisen Aufbau von Mikrochips in Abscheidekammer eingesetzt werden. Diese äußerst leistungsstarken Ventile für ultrahochreine Anwendungen zeichnen sich durch eine extrem lange Lebensdauer, die vollständige Eintauchfähigkeit bei hohen Temperaturen sowie durch ihre Eignung für ultrahochreine Anwendungen aus.
Die Membranen der ALD3- und ALD6-Ventile bestehen aus einer Superlegierung auf Kobaltbasis, die Festigkeit und Korrosionsbeständigkeit gewährleistet. Die Ventilkörper sind für den Einsatz in ultrahochreinen Anwendungen aus Edelstahl 316L VIM-VAR gefertigt. Die Ventilsitze sind aus fluoriertem PFA für den Einsatz unter hochreinen Bedingungen hergestellt, um die Kompatibilität mit zahlreichen Chemikalien und eine herausragende Beständigkeit gegen Aufquellen und Verunreinigung sicherzustellen. Diese Ventile sind für eine normal geschlossene sowie normal offene pneumatische Betätigung konzipiert und für unterschiedliche Installationsanforderungen in verschiedenen Konfigurationen erhältlich.
Wie ALD-Ventile die Halbleiterfertigung verbessern
ALD3- und ALD6-Ventile — Spezifikationen
| Betriebsdruck | Vakuum bis 10,0 bar (145 psig) |
| Berstdruck | >220 bar (3.200 psig) |
| Betätigungsdruck | 3,5 bis 6,2 bar (50 bis 90 psig) |
| Temperatur | 0 ° bis 200 °C (32 ° bis 392 °F) |
| Durchflusskoeffizient (Cv) | 0,27 oder 0,62 |
| Körperwerkstoffe | Edelstahl 316L VIM-VAR |
| Membranwerkstoff | Superlegierung auf Kobaltbasis |
| Endanschlüsse | Typ (Größe): VCR®-Innengewinde mit Metalldichtscheibe (1/4 Zoll bis 1/2 Zoll), VCR-Außengewinde mit Metalldichtscheibe (1/4 Zoll bis 1/2 Zoll), modulare Flächenmontage mit C-Dichtung für hohen Durchfluss (1 1/8 Zoll bis 1 1/2 Zoll) |
Sie haben Fragen zu ALD-Ventilen?
Ventile der Serien ALD3 und ALD6—Kataloge
Hier finden Sie ausführliche Produktinformationen zu Werkstoffen, Druckstufen, Auslegungstemperaturen, Optionen und Zubehör.
原子层沉积 (ALD) 隔膜阀，高速执行下的超高循环寿命 ，Cv 0.27 到 0.62，耐热执行器, 耐温高达 200°C（392°F），电子执行器位置传感选购件，合采用 316L VIM-VAR 不锈钢阀体的超高纯应用场合，VCR®, 卡套管对焊和模块化表面安装端接
Verbessern Sie Ihre Halbleiterproduktion durch den Einsatz optimierter Legierungen
Erfahren Sie, wie Halbleiterhersteller ihre Produktionsausbeute und Profitabilität durch Auswahl der passenden Werkstoffe für wichtige Fluidsystemkomponenten langfristig optimieren.
Erfahren Sie mehr über die WerkstoffauswahlSwagelok-Ressourcen für Sie zusammengestellt
Kleines Ventil mit großer Wirkung: Warum ein neues Ventil die Halbleiterproduktion verändern könnte
Erfahren Sie mehr darüber, wie die neueste Innovation in der ALD-Ventiltechnologie neue Möglichkeiten für Hersteller modernster Halbleiter schafft.
Q&A: Entwicklungen und Trends in der Halbleiterherstellung
In diesem Artikel beschäftigen wir uns damit, wie die Zusammenarbeit zwischen Herstellern von Halbleiter-Fertigungsanlagen, Chipproduzenten und Fluidsystemanbietern in der Halbleiterindustrie über Jahrzehnte hinweg dazu beigetragen hat, dass das Mooresche Gesetz eingehalten werden konnte. Zudem werfen wir einen Blick in die Zukunft dieser schnelllebigen Branche.
Un fabricant d’équipements pour le secteur des fibres optiques gagne en efficience grâce à des solutions sur mesure
Depuis les années 1980, Rosendahl Nextrom s’appuie sur Swagelok pour développer ses activités. Découvrez les solutions qui ont permis à l’entreprise de devancer ses concurrents et de rester leader dans son secteur.
Des systèmes fluides pour des applications aux confins de la science
Découvrez pourquoi Bluefors, fabricant finlandais de réfrigérateurs à dilution, fait confiance aux composants et solutions Swagelok pour les systèmes fluides de réfrigérateurs nécessaires à l’informatique quantique, à la physique expérimentale et à bien d’autres applications.