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大流量用超高純度用ダイヤフラム・バルブ、ALD20シリーズ
Swagelok超高純度用バルブ ALD20シリーズは、低蒸発圧プリカーサー・ガスを必要とする原子層蒸着プロセスに適した大流量用バルブです。 Swagelok ® 超高純度用バルブ(大流量用) ALD20シリーズは、ALDバルブに求められている信頼性および性能を維持しつつ、かつては対応が難しかった温度の安定性および流量も達成しています。このため、メーカーは大幅な工程変更を行うことなく、最先端技術の開発に欠かせない均一な蒸着を実現するため、さまざまな工程と低い蒸気圧の組み合わせを試すことができます。 Swagelok ALD20シリーズ・バルブの特徴: 1.2の流量係数(C v 値)を実...
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アンモニア・サンプラー
Swagelokアンモニア・サンプラーを使用することで、液体や気化したアンモニアの作業者への曝露を最小限に抑えることができるため、無水アンモニア・サンプリングの安全性が向上します。また、サンプリング作業が標準化されることにより、サンプリング・プロセスが大幅に短縮され、工場内でアンモニア・サンプルを運搬する必要が無くなります。 無水アンモニアは、肥料、プラスチック、繊維、石油などの製造に使用されます。貯蔵タンクでのアンモニアによる応力腐食割れや製品の品質低下を防止するため、アンモニアを定期的にサンプリングし、水分の含有量が0.2~0.5%であることを確認する必要があります。 スウェージロックのク...
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ダイエレクトリック継手
ダイエレクトリック継手を使用して電流の影響からモニタリング計器を遮断して保護することで、計器の精度を維持し、計器の交換コストを削減することができます。なお、流量が制限されることはありません。 Swagelokダイエレクトリック継手は、2つの主要な機能(電気絶縁性および流体の封止性能)を分離することで、計器を保護します。成形したサーモプラスチック絶縁体は、電気抵抗が高く、耐薬品性、耐紫外線性に優れています。また、吸水率が低いため、さまざまな使用条件や気候条件下でも絶縁耐力を保持します。 ダイエレクトリック継手を天然ガス・パイプラインのモニタリング・ステーションより前方の導圧管に取り付けると、 流...
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ファスト・ループ・モジュール
Swagelokファスト・ループ・モジュールを、サンプル取出し口から分析器までの距離が長いサンプル移送ラインで使用すると、圧力損失を最小限に抑制してレスポンス・タイム(応答時間)を最短化することができます。ファスト・ループ・サンプリング・システム・ソリューションのインターロック・ハンドルで、操作手順ミスや想定外の作動を防止します。 Swagelokファスト・ループ・モジュール(FLM)を、サンプル取出し口から分析器までの大流量かつ距離が長いサンプル移送ラインで使用すると、オンライン分析器システムの時間遅れを最短化することができます。Swagelok FLMを分析施設に取り付けてバイパスを形成す...
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フレキシブル・メタル・ホース、FJシリーズ
フレキシブル・メタル・ホース FJシリーズを使用すると、高温の真空用途または透過が望ましくない一般アプリケーションにおいて、透過を低減することができます。 FJシリーズ・ホースは、汎用の316Lステンレス鋼製コンボルーティッド・コアのブレード・ホース(304ステンレス鋼製シングル・ブレード・レイヤー付き)で、ホースの耐圧性が向上しています。また、316Lステンレス鋼製ブレード(オプション)を選定すると、耐食性が高まります。コンボルーティッド・コアにより、柔軟性がありながらも、つぶれにくくなっています。 透過の詳細につきましては動画をご覧ください。 FJシリーズ・ホースのサイズは1/4~2 イン...
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超高純度用ダイヤフラム・バルブ、ALD3 / ALD6シリーズ
Swagelokダイヤフラム・バルブ ALD3/ALD6シリーズは、非常に優れたサイクル・ライフ、高速作動、最高0.62の流量係数を備えており、ALD(原子層蒸着)半導体製造に必要なプリカーサーの供給制御を行います。 Swagelok ® 超高純度用ダイヤフラム・バルブ ALD3/ALD6シリーズを使用すると、 半導体製造 時に蒸着チャンバー内でマイクロデバイスに1層ずつ堆積する際に使用するプリカーサー・ガスの信頼性を保ちつつ、高速供給を行うことができます。高パフォーマンスを誇るALD3/ALD6シリーズ・バルブは、非常に優れたサイクル・ライフ、アクチュエーター部分を含めた高温対応を特...
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分析計装
スウェージロックは、プロセス流体分析に関する豊富な知識を活かして、Pre-Engineered Subsystems(PrESS)、流体システム・アセンブリー、部品など、さまざまなソリューションを提供します。また、設計、トラブルシューティング、トレーニング・サービスを通じて、幅広い流体システム・アプリケーションをサポートします。 スウェージロックがあらかじめ設計したサブシステム(Swagelokリミティッド・ライフタイム保証付き)を使用すると、さまざまな施設において流体のサンプリングおよび制御を簡素化することが可能になり、一貫性および容易な取り付けを実現します。アプリケーション・エンジニアが、...
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ベローズ・シール・バルブ
Swagelokベローズ・シール・バルブを使用すると、漏れの可能性を最小限に抑えることができます。大半のベローズ・シール・バルブでは、パックレス構造または溶接シールを採用しています。オペレーターの安全を確保し、意図したとおりのプロセス機能を実現するべく、外部シールが重要なアプリケーションにおいて、信頼性の高い漏れの無いパフォーマンスを発揮します。 Swagelokベローズ・シール・バルブには、さまざまなタイプや形状があり、一般的な用途から高純度用途に至るまで、幅広いアプリケーションに合わせて製品を選ぶことができます。豊富なオプション[ガスケットでボディとベローズの間をシールまたはボディとベロー...
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ベンチ・トップ式チューブ・ベンダー
頑丈かつ軽量なSwagelokベンチ・トップ式チューブ・ベンダーを使用すると、チューブを一貫してさまざまな形状に曲げることができるため、高い品質基準を維持しながら迅速に取り付けることができます。 Swagelok ® ベンチ・トップ式チューブ・ベンダーを使用すると、さまざまな形状にチューブを容易に曲げることができます。頑丈なアルミニウム製で、耐久性が高く、CEマーキングに適合しています。曲げ範囲は1~180°で、使用可能なチューブ外径サイズは1/4~1 1/4 インチ(肉厚:0.71~3.05 mm)、6~30 mm(肉厚:0.8~3.0 mm)です。同梱のグリース・ガンを使用すると、...
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バルク・ガス供給用ダイヤフラム・バルブ、LDシリーズ
バルク・ガス供給用ダイヤフラム・バルブ LDシリーズは、優れた強度および柔軟性、長いサイクル・ライフを兼ね備えており、超高純度締め切り用、バルク・ガス供給用、アイソレーション用など、さまざまな用途に対応することができます。 Swagelok ® バルク・ガス供給用ダイヤフラム・バルブ LDシリーズは、 締め切り用、バルク・ガス供給用、アイソレーション用 に設計されています(最高使用圧力:2.06 MPa)。3枚のダイヤフラムを使用することで優れた強度および柔軟性と長いサイクル・ライフを実現しているほか、耐圧部材はすべて金属にすることで安全性および耐久性を強化しています。 また、接液・接...
