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超高純度用フルオロポリマー・ポペット式逆止弁 CHPシリーズ エラストマー・フリー
■ 次世代PTFE製接液・接ガス部コンポーネント:超高純度システム・コンポーネント向けのSEMI F57-0301 に適合/■ エンド・コネクション:フレアー継手、スーパー300 タイプピラーフィッティング/■ 低いクラッキング圧力および再シール圧力
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スプリングレス・ダイヤフラム・バルブ DEシリーズ 1.125 インチ集積サイズ 集積化ガス・システム用
■ 1.125 インチ集積サイズのCシール/Wシール・デザイン/■ 形状:2 ポート/3ポート/■ アクチュエーター作動型式:空気式/手動式/■ ボディに対するアクチュエーターの向きが一定のため、一貫した取り付けが可能/■ 二次側のボディの角を面取りしているため、流れの方向が一目で確認可能
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超高純度用フルオロポリマー・ダイヤフラム・バルブ DRPシリーズ
■ 空気作動式バルブ(2方タイプ/3方タイプ)、1/4 回転手動式バルブ(2方タイプ)、手動式流量調節バルブ、空気作動式流量調節バルブ(開度調節機能付き、ストローク・リミッター)、空気作動式流量調節バルブ(バイバス流量調節機能付き、トリックル・フロー)/■ 接液・接ガス部の材質:次世代PTFE/アクチュエーターの材質:ポリプロピレン/■ 超高純度システム・コンポーネント向けのSEMI F57-0301に適合/■ 標準のエンド・コネクション:フレアー継手、スーパー300 タイプピラーフィッティング/Flowell(フロウエル)、スペース・セーバーなど/その他のエンド・コネクションもございます/■...
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コンパクト・ゲージ・バルブ 圧力計の遮断/圧力排出用
■ チューブ・アダプター・エンド・コネクション付きのSwagelok圧力計用に設計しているため、目盛板の位置合わせが容易で、圧力計の取り付け時間の短縮およびコストの削減が可能/■ Swagelokチューブ継手エンド・コネクションにより、バルブの取り付け時間の短縮およびコストの削減が可能/チューブをしっかりとグリップし、耐振性に優れる/■ 一体型パージ・バルブにより、ねじ接続部分がなく、漏れの可能性がある接続部分を削減/バルブ・ボディから外れないようにパージ・キャップにかしめ加工を施すことで、安全性を高め、偶発的な分解を防止