Swagelok^®超高純度用ダイヤフラム・バルブ（最先端のALD／ALEプロセスにおける精密な供給制御用）（ALD7Cシリーズ）

原子層蒸着（ALD）プロセス向けの超高純度用バルブにおいて業界をリードするスウェージロック製品群に、Swagelok^®超高純度用ダイヤフラム・バルブ ALD7Cシリーズが新たに加わりました。メンテナンス可能なカートリッジ・バルブ・プラットフォームを採用し、材質に合金22を使用することで、高度な半導体プロセス・アプリケーションに欠かせない耐食性、耐熱性、メンテナンス性を実現しています。

温度、化学的性質、メンテナンス性の面でより高性能なバルブが求められるアプリケーション向けに、ALD7Aプラットフォームを拡張したのがALD7Cシリーズ・バルブです。合金22材質とメンテナンス可能なカートリッジ構造とを組み合わせることで、高度なALDおよびALEプロセスに求められる供給の一貫性、熱安定性、耐食性を実現しています。ALDプロセスでは、数百万サイクルにわたる長期的な流量の一貫性に対してより影響を受けやすい傾向が見られます。それに加えてALEプロセスでは、特にパルス幅が短い場合、レスポンス・タイム（応答時間）およびタイミングの再現性が重要となります。ALD7Cシリーズ・バルブには、両方の要求に対応する設計を採用しています。

ALD7Cシリーズ・バルブ単体、あるいは積層造形（AM）マニホールド・アセンブリーに組み込まれたALD7Cシリーズ・バルブを使用することで、包括的なバルブ・ソリューションを得ることができます。インテグレーターによるサブアセンブリーの組み立て作業などは不要です。集積アセンブリーに共通するCシールや複数のリーク・ポイントを排除する設計を採用しています。

ALD7Cシリーズ・バルブの特徴：

• 過酷なプロセス化学環境下でも強度および耐食性を発揮する合金22を採用
• 高温および高真空条件下でも0.7の流量係数（C_v値）を維持；カスタムの流量係数（C_v値）にも対応
• バルブ・ボディおよびアクチュエーターは、最高250°Cの連続イマージョン（浸漬）に対応（250°CはSwagelok ALD用バルブ製品群の中で最高となる使用温度）
• 2 ms未満の作動レスポンス・タイム（応答時間）および5 ms未満のレスポンス・タイム（応答時間）を実現
• 非常に優れたサイクル・ライフおよび一貫した供給により、先端ノードのプロセスに欠かせない短パルスALDおよびALEプロセス条件に対応
• 工場での流量校正精度は±1%で、サイクル・ライフにわたる流量変動は2％以内に抑えられており、高歩留まりの半導体プロセスにおいて安定的かつ再現性の高い供給を実現
• 装置にバルブを取り付けたまま流量を調整することができ、工場で設定した流量からC_v値を最大35%低減することが可能—供給の微調整を行うためにバルブを工場に返送する必要はありません
• 交換可能なカートリッジ（ダイヤフラム＋シート）により、装置にバルブを取り付けたままメンテナンスを行うことができるほか、1つのバルブ・ボディにつき最大5回の再取り付けが可能なため、バルブの寿命にわたる装置のダウンタイム（停止時間）および総所有コストを大幅に削減
• 幅広い耐薬品性、および膨潤とコンタミネーションに対する耐性に優れた高純度PFA製シートにより、数百万サイクルにわたり信頼性の高いシート・シール性能を維持
• アクチュエーター・キット（別売）を使用すると、計画的および計画外のメンテナンスによる影響を軽減することが可能
• シングル・ボディのほか、複数のALD7Cカートリッジ・バルブをコンパクトな一体型の合金22製3Dプリント・マニホールド・ボディに統合した積層造形（AM）マニホールド製品を使用すると、マニホールド化による接続個所およびリーク・ポイントの削減が可能

ALD7Cシリーズ・バルブの仕様

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