Swagelok®超高純度用ダイヤフラム・バルブ（原子層蒸着プロセス用）（ALD7Aシリーズ）
Swagelok 超高純度用ALD7Aシリーズ・バルブを使用すると、新規または既存の半導体製造装置において、デバイスのスループットを最大化するのに欠かせない流量および一貫性、アクチュエーター・スピード、使用温度範囲、クレンリネス（清浄度）を得ることができます。
ALD7Aシリーズ・バルブについて問い合わせるSwagelok®超高純度用ダイヤフラム・バルブ ALD7Aシリーズは、実績のあるALD7シリーズ・バルブを改良して現場での流量調節機能を追加したことで、製造装置環境内で直接、流量性能を精密に調節することが可能になりました。ALD7Aシリーズ・バルブは、過酷なサイクル条件下にわたって正確かつ再現性の高い流量および作動パフォーマンスを発揮します。また特定のプロセス条件に合わせて流量を微調整し、チャンバーや製造装置間のばらつきを低減し、システムの再設計を行うことなく供給制御を最適化できる機能が追加されました。
妥協を許さない精度を備えたALD7Aシリーズ・バルブの特徴：
- アクチュエーター技術を強化し、高速かつ再現性の高い作動を実現—作動スピードは3 ms未満、レスポンス・タイム（応答時間）は約5 ms
- 最大0.7の流量係数（Cv値）カスタム流量係数（Cv値）も可能（オプション）
- 現場で流量調節を行い、工場で設定した流量からCv値を最大25%低減することが可能
- 超高純度アプリケーション向けに、耐食性に優れた316L VIM-VARステンレス鋼製バルブ・ボディを採用
- 0～200°Cの温度範囲に対応する標準バルブ・ボディ；オプションの高温用ボディおよびアクチュエーターは、0～150°Cの温度範囲に対応
ALD7Aシリーズ・バルブの仕様
| 使用圧力範囲 | 真空～1.0 MPa |
| 破裂時 | >22.0 MPa |
| 作動圧力範囲 | 0.42～0.82 MPa |
| 使用温度範囲 | 0～200°C |
| 流量係数（Cv値） | 標準0.7 Cv（工場設定） |
| ボディ材質 | 316L VIM-VARステンレス鋼 |
| ダイヤフラム材質 | コバルト基超合金 |
| エンド･コネクション・タイプ | VCR®継手、チューブ突き合わせ溶接、集積モデル大流量用Cシール（1.5 インチ） |
ALD用バルブに関して質問がありますか？
ALD7Aシリーズ・バルブのカタログ
構成部品とその材質、使用圧力、使用温度、オプション、アクセサリーなど、製品に関する詳細情報につきましては、以下の資料をご参照ください。
■ サイクル・ライフが非常に優れ、高速で開閉可能／■ 流量係数（Cv値）：0.27から1.7まで／■ 最高使用温度：250°C（ALD20の場合）／■ オプション：電気式インジケーター、光学式ポジション・センサーなど／■ 超高純度用途に適した316L VIM-VAR ステンレス鋼製ボディ／■ エンド・コネクション・タイプ：集積モデル、チューブ突き合わせ溶接、VCR® メタル・ガスケット式面シール継手
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